[发明专利]直拉单晶炉热屏装置及提高拉晶速率的方法有效
| 申请号： | 202111639258.2 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114369866B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 丁亚国;李玲玲;梁万亮;马国忠;顾燕滨 | 申请（专利权）人： | 宁夏申和新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙) 64105 | 代理人： | 孙彦虎 |
| 地址： | 750000 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 直拉单晶炉热屏 装置 提高 速率 方法 | ||
1.一种直拉单晶炉热屏装置，其特征在于，包括：导流筒、水冷屏，所述导流筒位于所述水冷屏的下方，所述水冷屏的内侧壁设置有凹坑，以提高晶棒的拉速；
所述凹坑均匀分布在所述水冷屏的内侧壁上；
所述水冷屏为上下开口的筒状，所述水冷屏的开口上大下小；
所述水冷屏的下端设置圆环形护套，所述圆环形护套由石墨做成，所述圆环形护套与所述水冷屏的下端连接，同时通过石墨做成的圆环形护套能够延伸水冷屏的长度，以延伸水冷热屏的热折射，使得水冷屏距硅溶液的液面更加接近。
2.根据权利要求1所述的直拉单晶炉热屏装置，其特征在于，所述凹坑为圆形。
3.根据权利要求1所述的直拉单晶炉热屏装置，其特征在于，所述凹坑为椭圆形。
4.根据权利要求1所述的直拉单晶炉热屏装置，其特征在于，所述水冷屏的外侧壁两端相对设置固定杆。
5.根据权利要求1所述的直拉单晶炉热屏装置，其特征在于，所述水冷屏为不锈钢材质。
6.根据权利要求1所述的直拉单晶炉热屏装置，其特征在于，所述水冷屏表面涂覆有涂层。
7.一种提高拉晶速率的方法，利用如权利要求1所述直拉单晶炉热屏装置实现，其特征在于，具体步骤如下：
步骤一：将导流筒安装在单晶炉的内壁上，再将水冷屏设置在导流筒的上方，且所述水冷屏的一端与单晶炉的内壁连接；
步骤二：将晶棒以1.8mm/min-2.0mm/min的拉速从单晶炉内拉出。
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