[发明专利]一种能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板及其应用方法

说明书

一种能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板，包括有OLED显示基板与掩模板本体，所述掩模板本体包括有掩模板上板和掩模板下板，所述掩模板上板与掩模板下板之间设置有安装腔体层，所述OLED显示基板紧密安装在该安装腔体层中，所述掩模板上板上还开设有像素开口区，在所述掩模板本体内部滑动设置有局部掩膜板机构；在所述掩模板本体与局部掩膜板机构之间设置有定位机构，所述掩模板上板活动扣接在掩模板下板上，且在所述掩模板上板与掩模板下板之间设置有微调升降机构，在所述安装腔体层开口处还设置有密封机构。本发明在对同颜色的像素的蒸镀过程中不需要更换掩模板，从而像素之间不会产生位置偏差，且极大地提高了OLED蒸镀效率和品质。

技术领域

本发明涉及显示面板制造的技术领域，具体涉及一种能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板及其应用方法。

背景技术

掩模板，又称光罩、光掩膜、光刻掩膜版、掩模版等，承载有设计图形，光线透过它，把设计图形投射在光刻胶上。光学掩模板在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。掩膜版应用十分广泛，在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版，如IC(集成电路)、FPD(平板显示器)、PCB(印刷电路板)、MEMS(微机电系统)等。掩模板的性能直接决定了光刻和蒸镀工艺的质量。

有机发光二级管显示器(Organic Light Emitting Diode,OLED)是一种极具发展前景的平板显示技术，它具有十分优异的显示性能，特别是具有自发光、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等特性。

然而，蒸镀作为OLED的核心工艺步骤之一，是OLED制造工艺五大步骤的第二个阶段，是实现高精度，大容量OLED微单元彩色图案化的唯一方法。蒸镀需要在LTPS基板下面放置掩模板(FMM)，当利用有机材料对OLED进行蒸镀时，有机材料只能沉积在掩模板设定的位置。如果不使用掩模板，将会造成像素混乱，例如有绿色和蓝色沉积在红色(R)像素上，这样将无法获得纯色。因此，在蒸镀过程中需要在不同的时间使用RGB相应位置和形状的不同掩模板，这样反复更换掩模板不仅效率低下，且更换一次掩模板即需要重新定位，会让像素颜色之间的位置产生一定的偏差，导致生产的OLED品质不高。

发明内容

本发明为弥补显示面板制造设备技术方面的不足，提出一种结构简单，使用稳定可靠，在对同颜色的像素的蒸镀过程中不需要更换掩模板，从而像素之间不会产生位置偏差，且极大地提高了OLED蒸镀效率的能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板及其应用方法。

具体技术方案如下：

第一方面，本发明提供了一种能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板，包括有OLED显示基板与掩模板本体，所述掩模板本体包括有掩模板上板和掩模板下板，所述掩模板上板与掩模板下板之间设置有安装腔体层，该安装腔体层整个内壁覆盖有石墨烯层，石墨烯层防止了OLED显示基板在装入安装腔体层的过程中被划伤，所述OLED显示基板紧密安装在该安装腔体层中，所述掩模板上板上还开设有像素开口区，在所述掩模板本体内部滑动设置有局部掩膜板机构；在所述掩模板本体与局部掩膜板机构之间设置有定位机构，所述掩模板上板活动扣接在掩模板下板上，且在所述掩模板上板与掩模板下板之间设置有微调升降机构，在所述安装腔体层开口处还设置有密封机构。