[发明专利]一种能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板及其应用方法

权利要求书

1.一种能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板，其特征在于：包括有OLED显示基板(1)与掩模板本体(2)，所述掩模板本体(2)包括有掩模板上板(21)和掩模板下板(22)，所述掩模板上板(21)与掩模板下板(22)之间设置有安装腔体层(23)，该安装腔体层(23)整个内壁覆盖有石墨烯层(27)，所述OLED显示基板(1)紧密安装在该安装腔体层(23)中，所述掩模板上板(21)上还开设有像素开口区(24)，在所述掩模板本体(2)内部滑动设置有局部掩膜板机构(3)；

在所述掩模板本体(2)与局部掩膜板机构(3)之间设置有定位机构(4)，所述掩模板上板(21)活动扣接在掩模板下板(22)上，且在所述掩模板上板(21)与掩模板下板(22)之间设置有微调升降机构(5)，在所述安装腔体层(23)开口处还设置有密封机构(6)。

2.根据权利要求1所述的能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板，其特征在于：所述像素开口区(24)均匀密布有像素开口组(25)，该像素开口组(25)包括有至少三个像素开口(26)，所述像素开口组(25)中的像素开口(26)的大小以及排列组合方式均与OLED显示基板(1)的像素大小以及排列组合方式一致；

所述局部掩膜板机构(3)设置有滑动掩膜板(31)，该滑动掩膜板(31)均匀开设有通孔(32)，且所述通孔(32)滑动到不同位置均与每组像素开口组(25)中的一个像素开口(26)重合，在所述滑动掩膜板(31)至少有一侧部连接有推拉柄(33)，该推拉柄(33)从所述掩模板本体(2)侧面伸出，在所述滑动掩膜板(31)滑动区域的内壁上还设置有密封层(35)。

3.根据权利要求2所述的能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板，其特征在于：所述定位机构(4)设置有定位孔(41)，该定位孔(41)设置在所述掩模板上板(21)上，在所述滑动掩膜板(31)上表面还均匀开设有至少三个定位槽(42)，所述定位孔(41)中还配合安装有定位键(43)，该定位键(43)穿过定位孔(41)与所述定位槽(42)紧密配合。

4.根据权利要求2所述的能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板，其特征在于：所述微调升降机构(5)设置有气阀口(51)，在所述掩模板下板(22)上开设有凹槽(52)，在所述掩模板上板(21)上设置有凸块(53)，所述凹槽(52)与凸块(53)密闭配合，所述气阀口(51)设置在所述凹槽(52)底部。

5.根据权利要求2所述的能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板，其特征在于：所述密封机构(6)设置有密封板(61)，在所述掩模板本体(2)端面上设置有滑动扣槽(62)，该滑动扣槽(62)设置在所述安装腔体层(23)开口端，且所述密封板(61)滑动安装在该滑动扣槽(62)中，在所述掩模板本体(2)一棱角处还开设有倒角，该倒角紧靠所述滑动扣槽(62)开口处设置。

6.根据权利要求2所述的能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板，其特征在于：所述掩模板下板(22)具有掩模板上板(21)一样的结构，即开设有像素开口区(24)。

7.一种权利要求2-6任一项所述的能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板的应用方法，其特征在于：所述掩膜板在OLED蒸镀过程中使用，其蒸镀过程包括以下步骤：

一、通过微调升降机构(5)调整安装腔体层(23)的高度，使得安装腔体层(23)的高度大于OLED显示基板(1)厚度；

二、将OLED显示基板(1)装入安装腔体层(23)中，再通过微调升降机构(5)调整安装腔体层(23)的高度，使得安装腔体层(23)内壁与OLED显示基板(1)紧密贴合；

三、滑动调整局部掩膜板机构(3)的滑动掩膜板(31)位置，使得通孔(32)重合的像素开口(26)与即将蒸镀的像素颜色相对应；

四、将掩模板本体(2)置入设备中对OLED显示基板(1)进行真空蒸镀。