[发明专利]一种自旋式热屏快速清理装置和使用方法

权利要求书

1.一种自旋式热屏快速清理装置，其特征在于，包括挂钩组件(1)、第一腔体(2)、第二腔体(4)和第三腔体(9)，所述挂钩组件(1)贯穿第一腔体(2)的一端面，与第一腔体(2)转动连接；所述第一腔体(2)的另一端面与第二腔体(4)的一端面固定连接，所述第一腔体(2)和第二腔体(4)隔离；所述第二腔体(4)的另一端面与第三腔体(9)的一端面固定连接；所述第二腔体(4)包括氩气腔体(41)、排气腔体(42)和固定在氩气腔体(41)和排气腔体(42)之间的隔板(43)；所述氩气腔体(41)的侧面固定连接有进气阀(3)，所述排气腔体(42)与第三腔体(9)连通；所述隔板(43)上固定连接有热敏开关控制阀(5)，所述热敏开关控制阀(5)固定连接有回旋式排气道(6)；所述第三腔体(9)内固定连接有涡轮式导气盘(7)，第三腔体(9)侧面开设有两个以上的排气孔(8)。

2.根据权利要求1所述的一种自旋式热屏快速清理装置，其特征在于，所述挂钩组件(1)包括挂钩(11)、连接杆(12)和限位块(13)，所述连接杆(12)的一端固定连接挂钩(11)，连接杆(12)的另一端固定连接限位块(13)，所述限位块(13)位于第一腔体(2)内部。

3.根据权利要求2所述的一种自旋式热屏快速清理装置，其特征在于，所述第一腔体(2)的一端面固定连接有旋转轴承(21)，所述旋转轴承(21)与连接杆(12)转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种自旋式热屏快速清理装置，其特征在于，所述第三腔体(9)侧面的排气孔(8)等间距设置，每个排气孔(8)的大小均相同。

5.根据权利要求1所述的一种自旋式热屏快速清理装置，其特征在于，所述涡轮式导气盘(7)由两个以上的叶片(71)组成，每个叶片(71)等间距分布。

6.根据权利要求5所述的一种自旋式热屏快速清理装置，其特征在于，所述叶片(71)两侧表面与涡轮式导气盘(7)横截面垂直，所述叶片(71)的上表面(72)与涡轮式导气盘(7)横截面存在夹角。

7.根据权利要求1所述的一种自旋式热屏快速清理装置，其特征在于，所述回旋式排气道(6)为弹簧形状的环形管道，回旋式排气道(6)远离热敏开关控制阀(5)的一端延伸至第三腔体(9)内，并与涡轮式导气盘(7)保持距离。

8.根据权利要求7所述的一种自旋式热屏快速清理装置，其特征在于，所述回旋式排气道(6)设置2～5圈环形管道。

9.根据权利要求7或8所述的一种自旋式热屏快速清理装置，其特征在于，所述回旋式排气道(6)远离热敏开关控制阀(5)的一端与涡轮式导气盘(7)横截面存在夹角。

10.一种权利要求1-9中任一项所述自旋式热屏快速清理装置的使用方法，其特征在于，包括：打开进气阀(3)充入氩气，氩气压力值达到5～10Mpa后关闭进气阀(3)；将挂钩组件(1)与单晶炉上轴连接；将所述装置放置于单晶炉内，开启单晶炉晶转将所述装置缓慢下降至单晶炉热屏上沿；热敏开关控制阀(5)在单晶炉内受高温影响自动打开，氩气通过回旋式排气道(6)形成环形气流进入涡轮式导气盘(7)推动所述装置自动旋转；氩气由排气孔(8)均匀排出，对热屏内壁进行吹拂，将硅粉吹落在热屏底壁；操作单晶炉上轴继续下降所述装置对热屏下部进行清理；待氩气释放完成后将所述装置按照炉台隔离操作取出。