[发明专利]一种MPCVD金刚石研磨装置有效
申请号: | 202110307383.7 | 申请日: | 2021-03-23 |
公开(公告)号: | CN112847125B | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
发明(设计)人: | 刘宏明;林琳 | 申请(专利权)人: | 湖州中芯半导体科技有限公司 |
主分类号: | B24B37/10 | 分类号: | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B47/12;B24B47/20;B24B47/22;B24B47/26;B24B55/06;B24B55/12;B24B57/02 |
代理公司: | 湖州佳灏专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 33476 | 代理人: | 黄永兰 |
地址: | 313000 浙江省湖*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 mpcvd 金刚石 研磨 装置 | ||
本发明涉及金刚石加工技术领域,且公开了一种MPCVD金刚石研磨装置,包括研磨盘,研磨盘的底面固定连接有电机架,电机架底面固定安装有转动电机,转动电机的传动轴在研磨盘内的一端固定连接有砂轮,研磨盘顶面左右两侧均开设有滑槽,滑槽内套入有滑板,滑板对应研磨盘中心的一面开设有横截面呈凸字型的槽,滑板的内壁套入有滑块,滑块远离研磨盘中心的一面开设有孔且孔内通过转动轴承连接有转盘,转盘的外壁开设有齿槽,滑板侧面内壁开设有槽且槽内套入有五个齿板,通过滑板的设置,在金刚石每个面研磨完毕抬升的过程中,自动让金刚石产生转动,免除拆装金刚石调整角度的繁琐操作,提高金刚石研磨的加工效率。
技术领域
本发明涉及金刚石加工技术领域,具体为一种MPCVD金刚石研磨装置。
背景技术
金刚石的加工过程中,大多需要将金刚石制成多面体的形状,且需要通过研磨装置对金刚石的多面研磨,因此对金刚石单面研磨后,需要对研磨的一面进行切换,现有的研磨装置使用时多需要将金刚石进行固定,因此换面时需要先拆卸后固定,这种使用方式的操作繁琐,导致研磨效率的降低。因此亟需一种MPCVD金刚石研磨装置来解决上述问题。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本发明提供了一种MPCVD金刚石研磨装置来解决上述问题。
(二)技术方案
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种MPCVD金刚石研磨装置,包括研磨盘,研磨盘的顶面呈镂空状态,研磨盘的底面固定连接有电机架,电机架底面固定安装有转动电机,研磨盘底面开设有孔且转动电机的传动轴位于其中,转动电机的传动轴在研磨盘内的一端固定连接有砂轮,研磨盘顶面左右两侧均开设有滑槽,滑槽内套入有滑板,滑板对应研磨盘中心的一面开设有横截面呈凸字型的槽,滑板的内壁套入有滑块,滑块远离研磨盘中心的一面开设有孔且孔内通过转动轴承连接有转盘,转盘的外壁开设有齿槽,滑板侧面内壁开设有槽且槽内套入有五个齿板,五个齿板上的齿形块数量由上至下等比例缩小,滑板侧面对应五个齿板的位置均开设有螺纹孔且螺纹连接有螺栓,螺栓通过转动轴承与齿板连接,齿板对应滑块的一面开设有活动槽,活动槽上侧内壁固定连接有套柱,套柱外壁套入有齿形块,齿形块底端对应活动槽的一面通过弹性体与活动槽内壁连接,转盘侧面开设有孔且孔内固定连接有连接轴A,滑块顶面呈镂空状态且连接轴A位于其中,连接轴A远离转盘的一端固定连接有转环,转环外壁开设有横截面呈凸字型的环形槽且套入有呈L型体的连接杆,连接杆远离转环的一端固定连接有呈C字型体的固定框,固定框两侧面均开设有螺纹孔且螺纹连接有螺栓,固定框上两个螺栓对应固定框内壁的一面通过转动轴承连接有固定板,两个固定板的对应面等间距开设有圆柱孔且孔内通过转动轴承连接有转辊,每个固定板上的三个转辊均通过传动带相互连接,且位于中间的转辊对应转环一面的传动轴贯穿固定框并固定连接有导向杆,导向杆背侧面固定连接有强磁铁A,固定框固定连接有固定筒,固定筒背面开设有孔且孔内套入有直齿轮A,固定筒背面在直齿轮A两侧均通过转动机构连接有直齿轮B,直齿轮B对应固定框的一面固定连接有强磁铁B,强磁铁A受到强磁铁B的磁力吸引,滑板顶面内部设置有磁铁且对滑块具备磁力吸引作用。
优选的,所述滑板底面内壁固定连接有弹簧A,弹簧A顶面固定连接有限制板,限制板顶面等间距开设有齿槽。
优选的,所述研磨盘顶面通过螺纹连接机构连接有盖板,盖板对应滑槽的外壁呈镂空状态。
优选的,所述盖板顶面中心开设有孔且孔内固定连接有塞杆,塞杆顶面固定连有活塞,活塞和塞杆外壁套入有注液筒,注液筒顶面内壁通过弹簧B与活塞连接,注液筒外壁固定连接有压盘,压盘对应于滑块的上方。
优选的,所述连接轴A的外壁等间距呈剖切状态且通过剪切式连板连接,剪切式连板为多个两侧分别开设孔和设置凸起的矩形板交错拼接而成,连接轴A侧面开设有槽,剪切式连板外壁呈镂空状态且套入有插杆,插杆一端与一侧的连接轴A连接且另一端与另一侧的连接轴A呈套入关系。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖州中芯半导体科技有限公司,未经湖州中芯半导体科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110307383.7/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。