[发明专利]一种MPCVD金刚石研磨装置有效

专利信息
申请号: 202110307383.7 申请日: 2021-03-23
公开(公告)号: CN112847125B 公开(公告)日: 2022-03-04
发明(设计)人: 刘宏明;林琳 申请(专利权)人: 湖州中芯半导体科技有限公司
主分类号: B24B37/10 分类号: B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B47/12;B24B47/20;B24B47/22;B24B47/26;B24B55/06;B24B55/12;B24B57/02
代理公司: 湖州佳灏专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 33476 代理人: 黄永兰
地址: 313000 浙江省湖*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 mpcvd 金刚石 研磨 装置
【权利要求书】:

1.一种MPCVD金刚石研磨装置,包括研磨盘(1),研磨盘(1)的顶面呈镂空状态,研磨盘(1)的底面固定连接有电机架(2),电机架(2)底面固定安装有转动电机(3),研磨盘(1)底面开设有孔且转动电机(3)的传动轴位于其中,转动电机(3)的传动轴在研磨盘(1)内的一端固定连接有砂轮(4),研磨盘(1)顶面左右两侧均开设有滑槽(5),滑槽(5)内套入有滑板(6),滑板(6)对应研磨盘(1)中心的一面开设有横截面呈凸字型的槽,滑板(6)的内壁套入有滑块(7),滑块(7)远离研磨盘(1)中心的一面开设有孔且孔内通过转动轴承连接有转盘(8),转盘(8)的外壁开设有齿槽,其特征在于:所述滑板(6)侧面内壁开设有槽且槽内套入有五个齿板(9),五个齿板(9)上的齿形块(12)数量由上至下等比例缩小,滑板(6)侧面对应五个齿板(9)的位置均开设有螺纹孔且螺纹连接有螺栓,螺栓通过转动轴承与齿板(9)连接,齿板(9)对应滑块(7)的一面开设有活动槽(10),活动槽(10)上侧内壁固定连接有套柱(11),套柱(11)外壁套入有齿形块(12),齿形块(12)底端对应活动槽(10)的一面通过弹性体(42)与活动槽(10)内壁连接,转盘(8)侧面开设有孔且孔内固定连接有连接轴A(15),滑块(7)顶面呈镂空状态且连接轴A(15)位于其中;

所述连接轴A(15)远离转盘(8)的一端固定连接有转环(16),转环(16)外壁开设有的环形槽且套入有连接杆(17),连接杆(17)远离转环(16)的一端固定连接有固定框(18),固定框(18)两侧面均开设有螺纹孔且螺纹连接有螺栓,固定框(18)上两个螺栓对应固定框(18)内壁的一面通过转动轴承连接有固定板(19),两个固定板(19)的对应面等间距开设有圆柱孔且孔内通过转动轴承连接有转辊(27),每个固定板(19)上的三个转辊(27)均通过传动带(28)相互连接,且位于中间的转辊(27)对应转环(16)一面的传动轴贯穿固定框(18)并固定连接有导向杆(26),导向杆(26)背侧面固定连接有强磁铁A(24),固定框(18)固定连接有固定筒(21),固定筒(21)背面开设有孔且孔内套入有直齿轮A(22),固定筒(21)背面在直齿轮A(22)两侧均通过转动机构连接有直齿轮B(23),直齿轮B(23)对应固定框(18)的一面固定连接有强磁铁B(25),强磁铁A(24)受到强磁铁B(25)的磁力吸引,滑板(6)顶面内部设置有磁铁且对滑块(7)具备磁力吸引作用。

2.根据权利要求1所述的一种MPCVD金刚石研磨装置,其特征在于:所述滑板(6)底面内壁固定连接有弹簧A(13),弹簧A(13)顶面固定连接有限制板(14),限制板(14)顶面等间距开设有齿槽。

3.根据权利要求1所述的一种MPCVD金刚石研磨装置,其特征在于:所述研磨盘(1)顶面通过螺纹连接机构连接有盖板(31),盖板(31)对应滑槽(5)的外壁呈镂空状态。

4.根据权利要求3所述的一种MPCVD金刚石研磨装置,其特征在于:所述盖板(31)顶面中心开设有孔且孔内固定连接有塞杆(37),塞杆(37)顶面固定连有活塞(35),活塞(35)和塞杆(37)外壁套入有注液筒(32),注液筒(32)顶面内壁通过弹簧B(36)与活塞(35)连接,注液筒(32)外壁固定连接有压盘(33),压盘(33)对应于滑块(7)的上方。

5.根据权利要求4所述的一种MPCVD金刚石研磨装置,其特征在于:所述连接轴A(15)的外壁等间距呈剖切状态且通过剪切式连板(29)连接,剪切式连板(29)为多个两侧分别开设孔和设置凸起的矩形板交错拼接而成,连接轴A(15)侧面开设有槽,剪切式连板(29)外壁呈镂空状态且套入有插杆(30),插杆(30)一端与一侧的连接轴A(15)连接且另一端与另一侧的连接轴A(15)呈套入关系。

6.根据权利要求4所述的一种MPCVD金刚石研磨装置,其特征在于:所述注液筒(32)底端外壁固定连接且连通有连管(34),塞杆(37)和活塞(35)顶面均呈镂空状态,塞杆(37)顶端外壁对应滑槽(5)的一面开设有圆台孔且圆台孔内壁通过弹簧C(39)连接有挡板(38),挡板(38)直径大的一面背离塞杆(37)的中心。

7.根据权利要求1所述的一种MPCVD金刚石研磨装置,其特征在于:所述转动电机(3)在研磨盘(1)和砂轮(4)之间的传动轴固定连接有数个扇板(40),研磨盘(1)左右两侧在研磨盘(1)和砂轮(4)之间的内壁均呈镂空状态且与滑槽(5)连通,研磨盘(1)底面外沿开设有孔且孔内固定连接有过滤板(41)。

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