[发明专利]一种低氧大尺寸含铝基金属间化合物的合金靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202110142292.2 | 申请日： | 2021-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN113046704B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 邱从章 | 申请（专利权）人： | 长沙淮石新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C1/04;C22C21/00 |
| 代理公司： | 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114 | 代理人： | 赵进;颜勇 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市长沙*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 低氧 尺寸 基金 化合物 合金 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.Al-50Cr合金靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)原材料为高纯铝粉、高纯铬粉和添加剂X粉末，其中高纯铝粉和高纯铬粉纯度均≥99.995％，再用1％NaOH碱性活化液进行表面活化处理并用酒精清洗、晾干进行除氧处理，按照铝与铬的原子比为50:50进行配料，得混合料；其中添加剂X为Al-60Cr中间合金和CrH按质量比为1:1配比组成的混合物，添加剂X的添加量为混合料总重量的10％，所述Al-60Cr中间合金中Al与Cr的原子比为40:60；
(2)制坯：将混料机中的混合料放入模具中预压成型，并升温至450℃，保温8分钟； 缓慢升温至600℃保压120分钟，保压状态的压力为150MPa；然后缓慢升温至1335℃保压30分钟，压力为80MPa，然后冷却至600℃；
(3)均温处理：将坯料在600℃的环境中均温10小时后炉冷至室温；
(4)后处理：均温处理后的坯料经过应变速率为0.5mm/s的热压制处理成大尺寸板坯后，退火并经机械加工工序制成靶材；
制坯和均温处理的过程均处于厌氧环境，并处于适时循环除氧的状态，所述厌氧环境中的氧的分压不高于0.01Pa。
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