[发明专利]一种金属掩膜条的检查分类设备及方法在审
| 申请号: | 202110125424.0 | 申请日: | 2021-01-29 |
| 公开(公告)号: | CN112808615A | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
| 发明(设计)人: | 沈志昇;骆丽兵 | 申请(专利权)人: | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号: | B07C5/02 | 分类号: | B07C5/02;B07C5/34;B07C5/36 |
| 代理公司: | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人: | 颜丽蓉 |
| 地址: | 351100 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 金属 掩膜条 检查 分类 设备 方法 | ||
本发明公开了一种金属掩膜条的检查分类设备及方法,包括背光源、位置测量装置、第一轨道和夹持装置,通过夹持设备、位置测量装置等设备的配合使用,获取待测金属掩膜条在当前张网状态下的当前张力和当前开孔位置,并据此进行分类,确保开孔位置一致的金属掩膜条统一使用在一张金属掩膜板中,以使得在金属掩膜框上所有金属掩膜条的整体开孔的偏移大小和方向相同。在实际张网时,工作人员就可根据归类中想要使用的金属掩膜条的当前张力和当前开孔位置的数据来预设合理的预设施力,来尽可能的抵消张网焊接过程中金属掩膜条的收缩力,减少金属掩膜条上开孔位置的偏移量,提高张网良率。
技术领域
本发明涉及OLED制造技术领域,特别涉及一种金属掩膜条的检查分类设备及方法。
背景技术
现有的OLED(OrganicLight-Emitting Diode,有机发光二极管)显示面板是在真空环境下利用蒸发源将有机材料加热后蒸发,使有机材料透过金属掩膜板上开孔位置定义玻璃上形成薄膜位置。其中,成膜位置需要是基板上被指定的发光位置,基板的电流才能有效传入OLED器件发光,所以金属掩膜板开孔位置的精度极为重要。而金属掩膜板上开孔位置的精准度主要取决于金属掩膜板的组装精度和金属掩膜条组成的开孔精度,例如一般手机屏幕的位置精度为±3μm。然而,工艺制程中,金属掩膜条的开孔精度一般≥±15um,其工艺制程精度远大于±3um,无法满足实际应用的需求,这也是OLED的一大难题。
在实际生产工艺中,金属掩膜条被焊于掩膜框时会产生收缩力,导致金属掩膜板框受力形变,从而导致金属掩膜板片上开孔位置向金属掩膜框的中心位置偏移。因此,位置精度要求高的组装掩膜板设备“张网机”需要有一组机构预先施力于金属掩膜板框上,待焊接掩膜条于掩膜板框后将原先预施于掩膜板框上的力退出,即可避免掩膜板片上开孔位置向金属掩膜框的中心位置偏移。即设计值与每条金属掩膜条的张力设计值是息息相关的,最终会实现相互抵消,防止金属掩膜板框进一步形变,导致位置偏移。
金属掩膜条厂商出货时,一般不会对金属掩膜条按开孔位置精度的差异进行分类。使用者在产品入料时,也不会进行精确的开孔位置分类。这就导致在张网环节过程中,每条金属掩膜条的实际张力值与设计值有较大差异,若每个金属掩膜条的实际张力均不同,多条金属掩膜条的收缩力之和无法与上述机构的设计值进行抵消,则会产生更大的金属掩膜板形变,导致开孔位置偏移,这也是OLED张网良率较低的原因之一。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是:提供一种金属掩膜条的检查分类设备及方法,减少蒸镀过程中金属掩膜条上开孔位置的偏移量,提高OLED张网良率。
为了解决上述技术问题,本发明采用的技术方案为:
一种金属掩膜条的检查分类设备,包括背光源、位置测量装置、第一轨道和夹持装置;
所述位置测量装置架设在所述背光源的上方,所述位置测量装置的测量方向对准所述背光源的发光面;
所述背光源的两侧分别设有所述夹持装置,所述夹持装置架设在所述第一轨道上且装配有拉力传感器,所述第一轨道的轨道方向与两个所述夹持装置的摆放方向相同;
两个所述夹持装置分别用于夹持待测金属掩膜条的两端,所述拉力传感器用于测量待测金属掩膜条的张力。
为了解决上述技术问题,本发明采用的另一技术方案为:
一种金属掩膜条的检查分类方法,应用于上述的一种金属掩膜条的检查分类设备,包括步骤:
S1、固定待测金属掩膜条并进行张网,记录待测金属掩膜条的当前张力;
S2、测量此时待测金属掩膜条上的目标开孔的当前开孔位置;
S3、结合待测金属掩膜条对应的所述当前张力和所述当前开孔位置,对待测金属掩膜条进行归类。
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