[发明专利]一种金属掩膜条的检查分类设备及方法

权利要求书

1.一种金属掩膜条的检查分类设备，其特征在于，包括背光源、位置测量装置、第一轨道和夹持装置；

所述位置测量装置架设在所述背光源的上方，所述位置测量装置的测量方向对准所述背光源的发光面；

所述背光源的两侧分别设有所述夹持装置，所述夹持装置架设在所述第一轨道上且装配有拉力传感器，所述第一轨道的轨道方向与两个所述夹持装置的摆放方向相同；

两个所述夹持装置分别用于夹持待测金属掩膜条的两端，所述拉力传感器用于测量待测金属掩膜条的张力。

2.根据权利要求1所述的一种金属掩膜条的检查分类设备，其特征在于，还包括龙门架、第二轨道、吸附装置、放置台、第一升降装置和第二升降装置；

所述放置台和所述背光源位于两个所述第二轨道之间，所述龙门架架设在两个所述第二轨道上，所述第二轨道的轨道方向与所述放置台向着所述背光源的排列方向相同；

所述第一升降装置和第二升降装置分别架设在所述龙门架的梁架上，所述位置测量装置与所述第一升降装置固定连接，所述吸附装置与所述第二升降装置固定连接，所述吸附装置位于所述放置台的上方且吸附方向对准所述放置台；

所述第一升降装置的下降方向与所述位置测量装置的测量方向相同，所述第二升降装置的下降方向与所述吸附装置的吸附方向相同，所述位置测量装置的最低下降高度大于所述吸附装置的最低下降高度，所述吸附装置在两个所述夹持装置的摆放方向上的宽度小于两个所述夹持装置的间距。

3.根据权利要求2所述的一种金属掩膜条的检查分类设备，其特征在于，所述吸附装置的吸附面上设有多个通孔；

所述吸附装置的吸附方式为真空吸附，所述通孔用于吸附待测金属掩膜条。

4.根据权利要求2所述的一种金属掩膜条的检查分类设备，其特征在于，所述吸附装置的吸附方式为静电吸附。

5.根据权利要求2所述的一种金属掩膜条的检查分类设备，其特征在于，还包括第三轨道；

所述第三轨道设置在所述龙门架的架梁上，所述第一升降装置架设在所述第三轨道上；

所述第三轨道的轨道方向与所述第一轨道相同。

6.根据权利要求1所述的一种金属掩膜条的检查分类设备，其特征在于，还包括第四轨道；

所述背光源架设在所述第四轨道上，所述第四轨道的轨道方向与所述第一轨道相同。

7.一种金属掩膜条的检查分类方法，应用于权利要求1至6任一所述的一种金属掩膜条的检查分类设备，其特征在于，包括步骤：

S1、固定待测金属掩膜条并进行张网，记录待测金属掩膜条的当前张力；

S2、测量此时待测金属掩膜条上的目标开孔的当前开孔位置；

S3、结合待测金属掩膜条对应的所述当前张力和所述当前开孔位置，对待测金属掩膜条进行归类。

8.根据权利要求7所述的一种金属掩膜条的检查分类方法，其特征在于，所述步骤S1之后还包括：

判断所述当前张力是否等于预设张力值，若是，则执行步骤S2，否则继续张网直至所述当前张力达到所述预设张力值；

所述步骤S3具体为：

计算所述当前开孔位置与对应的预设开孔位置的当前偏移量；

判断所述当前偏移量在已存在的分类中是否存在相同值，若是，则归入存在相同值的类，否则建立新的类并归入。