[发明专利]一种金刚石膜氧化硼掺杂方法

权利要求书

1.一种金刚石膜氧化硼掺杂方法，其特征在于，所述方法采用热丝气相沉积法制备掺硼金刚石薄膜时，通过在基片平台的周边均匀设置若干开口面积相等的容器，将氧化硼粉放置于容器中，在热丝加热时同时加热容器中的氧化硼粉形成高温气化，实现掺硼金刚石薄膜的制备。

2.根据权利要求1所述的一种金刚石膜氧化硼掺杂方法，其特征在于，所述方法通过设置容器的数量，实现氧化硼掺杂浓度的控制。

3.根据权利要求1或2所述的一种金刚石膜氧化硼掺杂方法，其特征在于，所述容器为空心立管，通过设置空心立管的高度，调节氧化硼的温度，从而调节氧化硼的气化浓度。

4.根据权利要求3所述的一种金刚石膜氧化硼掺杂方法，其特征在于，所述方法实现步骤包括：

1)选择基片，并对基片进行预处理；

2)在基片平台周边均匀设置若干开口面积相等的空心立管

3)在立管内放置氧化硼粉；

4)通电加压，通入含碳气体，进入形核和生长过程。

5.根据权利要求3所述的一种金刚石膜氧化硼掺杂方法，其特征在于，所述基片的材料为钛或硅。

6.根据权利要求3所述的一种金刚石膜氧化硼掺杂方法，其特征在于，所述预处理过程包括清晰、研磨。

7.根据权利要求3所述的一种金刚石膜氧化硼掺杂方法，其特征在于，所述热丝的材料为钨或钽。

8.根据权利要求3所述的一种金刚石膜氧化硼掺杂方法，其特征在于，所述含碳气体为甲烷、甲醇、乙醇或丙酮与氢气的混合，其中甲烷、甲醇、乙醇或丙酮在氢气中的浓度为0.1％～2％。

9.根据权利要求3所述的一种金刚石膜氧化硼掺杂方法，其特征在于，所述空心立管的数目为3～12，所述空心立管的高度为3～10mm。

10.根据权利要求1或2所述的一种金刚石膜氧化硼掺杂方法，其特征在于，所述容器的开口面积为0.5～2mm²。