[实用新型]一种提高薄膜沉积质量的电弧离子镀设备有效
| 申请号： | 202023094148.6 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN214782102U | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 刘若岚 | 申请（专利权）人： | 云南玖玖通电力设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 昆明润勤同创知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 53205 | 代理人： | 付石健 |
| 地址： | 650000 云南省昆明市中国(云南)自由贸易试验*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 提高 薄膜 沉积 质量 电弧 离子镀 设备 | ||
1.一种提高薄膜沉积质量的电弧离子镀设备，包括设备主体(1)，其特征在于：所述设备主体(1)的内部设置有电机(2)，所述电机(2)的上端外表面设置有转台(3)，所述转台(3)的上端外表面设置有液压柱(4)和底座(5)，所述液压柱(4)的上端外表面设置有连接板(6)，所述连接板(6)的上端外表面设置有固定板(7)，所述固定板(7)的一侧外表面设置有立柱(8)，所述立柱(8)的侧端外表面设置有挂钩(9)，所述挂钩(9)的侧端外表面设置有料盘(10)，所述连接板(6)与固定板(7)之间设置有滑轨(12)。
2.根据权利要求1所述的一种提高薄膜沉积质量的电弧离子镀设备，其特征在于：所述连接板(6)的下端外表面设置有连接件(13)，所述连接件(13)与连接板(6)之间为固定连接，且与底座(5)之间为活动连接，所述连接件(13)的横切面的形状呈六边形，所述电机(2)与设备主体(1)之间为固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种提高薄膜沉积质量的电弧离子镀设备，其特征在于：所述转台(3)与电机(2)之间为活动连接，所述液压柱(4)和底座(5)分别与转台(3)之间为固定连接，所述液压柱(4)的数量为两组，且呈对称排布，所述连接板(6)与液压柱(4)之间为固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种提高薄膜沉积质量的电弧离子镀设备，其特征在于：所述固定板(7)通过滑轨(12)与连接板(6)活动连接，所述滑轨(12)的数量为两组，且呈对称排布，所述立柱(8)与固定板(7)之间为固定连接，所述固定板(7)的数量为两组，且呈对称排布。
5.根据权利要求1所述的一种提高薄膜沉积质量的电弧离子镀设备，其特征在于：所述挂钩(9)与立柱(8)之间为固定连接，所述立柱(8)的数量为若干组，且呈阵列排布，所述挂钩(9)的数量为若干组，且呈阵列排布，所述料盘(10)与挂钩(9)的连接处设置有通孔(11)。
6.根据权利要求5所述的一种提高薄膜沉积质量的电弧离子镀设备，其特征在于：所述料盘(10)通过通孔(11)与挂钩(9)活动连接，所述通孔(11)的数量为若干组，且呈阵列排布，所述料盘(10)的数量为若干组，且呈阵列排布。
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