[实用新型]一种激光成像曝光机提高台面吸板真空度装置

说明书

本实用新型提供一种激光成像曝光机提高台面吸板真空度装置，包括粘接固定连接在曝光机台面顶端的密封装置，所述密封装置用于密封住台面上的真空孔，所述密封装置包括若干阻气垫片，各阻气垫片之间为粘接连接，所述粘接连接使用胶带粘接实现，所述阻气垫片均为透明基片。本实用新型提高了激光成像曝光机真空度，防止出现曝光解析不良或对位偏位等问题。

技术领域

本实用新型涉及激光成像曝光机配件的技术领域，具体涉及一种激光成像曝光机提高台面吸板真空度装置。

背景技术

激光成像曝光机区别于传统曝光机，无玻璃或亚克力台面抽真空贴合板面的装置，是完全依靠台面的真空孔和真空机来实现板面展开铺平的，吸真空后板面的平整度对于曝光的解析度、抓孔真圆度和对位精度有着至关重要的作用。但在实际生产操作过程中，设备每次切换不同尺寸的产品时，需拆除原垫片，再放置符合规格的新垫片。第一，增加设备损失时间，降低设备嫁动率；第二，由于每次放置位置不固定，容易出现垫片在产品和台面中间垫高产品，造成曝光解析不良缺陷；第三，多次反复取放垫片容易造成其他位置异物带入曝光室内。

发明内容

有鉴于此，本实用新型的主要目的是为了解决操作不当和产品尺寸不一致导致的曝光解析不良和对位偏位问题，提供一种激光成像曝光机提高台面吸板真空度装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种激光成像曝光机提高台面吸板真空度装置，包括粘接连接在曝光机台面顶端的密封装置，所述密封装置的尺寸可通过展开折叠进行调节，用于密封所述台面上的真空孔。

优选的，所述密封装置包括若干阻气垫片，所述阻气垫片之间为粘接连接，连接处可折叠可展开。

优选的，所述阻气垫片之间的粘接连接为使用胶带连接。

优选的，所述阻气垫片均为透明基片。

优选的，所述阻气垫片的尺寸和数量根据不同产品的尺寸和数量对应设计。

本实用新型具有的优点和积极效果是：

（１）通过密封装置设置在曝光机台面上，密封住台面上用不到的真空孔，提高曝光机台面吸板真空度，防止出现真空度不足造成曝光解析不良的问题。

（２）通过密封装置设置为若干阻气垫片串在一起可以展开折叠的结构。位置固定，可以利用密封装置的展开折叠方式调整需要遮盖的台面范围，不用反复取放垫片，提高设备嫁动率，避免员工误操作，避免交叉污染。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的一种激光成像曝光机提高台面吸板真空度装置的俯视图；

图2是本实用新型的一种激光成像曝光机提高台面吸板真空度装置的侧视图。

图中：1、台面；2、密封装置；3、阻气垫片；4、胶带；5、真空孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。