[实用新型]一种激光成像曝光机提高台面吸板真空度装置有效
申请号: | 202022743278.1 | 申请日: | 2020-11-24 |
公开(公告)号: | CN213843754U | 公开(公告)日: | 2021-07-30 |
发明(设计)人: | 刘斌 | 申请(专利权)人: | 天津普林电路股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人: | 李蓓蕾 |
地址: | 300000 天津市滨海新*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 成像 曝光 提高 台面 真空 装置 | ||
1.一种激光成像曝光机提高台面吸板真空度装置,其特征在于:包括粘接连接在曝光机台面(1)顶端的密封装置(2),所述密封装置(2)折叠设置于台面(1)上,用于密封所述台面(1)上的真空孔(5)。
2.根据权利要求1所述的一种激光成像曝光机提高台面吸板真空度装置,其特征在于:所述密封装置(2)包括若干阻气垫片(3),各所述阻气垫片(3)依次粘接连接在一起。
3.根据权利要求2所述的一种激光成像曝光机提高台面吸板真空度装置,其特征在于:各所述阻气垫片(3)依次使用胶带(4)粘接连接,同样的,所述密封装置(2)的一端与所述台面(1)顶端之间使用胶带(4)粘接连接。
4.根据权利要求2所述的一种激光成像曝光机提高台面吸板真空度装置,其特征在于:各所述阻气垫片(3)均为透明基片。
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