[实用新型]一种用于大尺寸电极的自动研磨装备

说明书

本实用新型公开了一种用于大尺寸电极的自动研磨装备，其特征在于：包括研磨加工台、X轴横梁、Y轴横梁和Z轴研磨结构，所述X轴横梁设置在研磨加工台的左右两边，Y轴横梁横跨研磨加工台滑动连接在X轴横梁上，Z轴研磨结构滑动连接在Y轴横梁上。研磨加工台上与X轴横梁相邻的两条边上设有挡水板，挡水板与研磨加工台连接的一侧设有卡扣，卡扣上设有安装孔，挡水板通过紧固件与卡扣上的安装孔配合连接在研磨加工台的框架上。研磨加工台包括框架和工作台面，工作台面安装在框架的上端，框架的下端固定连接在地面上，框架与工作台面之间为焊接一体精加工成型，保证水平面度，在工作台面的四周设有溢流槽，便于排水。

技术领域

本实用新型属于电极研磨技术领域，具体涉及一种用于大尺寸电极的自动研磨装备。

背景技术

CVD设备、Dry Etch设备，内部核心电极部件研磨、抛光一直是液晶面板显示行业的难点，其中核心零件表面粗糙度、镜面度、平坦度，对Glass气象沉积的范围、均匀度、使用寿命，等有很大的影响，其中有一款比较特殊的产品 (Susceptor见图示1)，此产品背部带一根Shaft，导致整体高度达到1.2～1.8米这对研磨固定台面要求比较高，并且在人工作业过程中很不方便。

为提高我公司产品附价值，寻求新的效益增长点，解决实际难题，在依托面板厂家，组织技术人员分组实验做相关分析实验，在取得大量技术参数的基础上，选择最优化的相关数据方案得出结论定义。需要在此核心部件生产过程中专门定制一款满足可以研磨CVD Chamber、Dry Etch Chamber设备核心零部件的大尺寸电极自动研磨装备，为了节约开发成本要求该项目大尺寸电极自动研磨装备需要满足两种核心设备零部件不同工艺的标准来执行研磨，并且通用所有大尺寸高世代线的核心产品研磨制造，达到增加生产效率、提高品质、降低成本等技术需求。

实用新型内容

针对现有技术中存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种用于大尺寸电极的自动研磨装备。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案为：一种用于大尺寸电极的自动研磨装备，其特征在于：包括研磨加工台、X轴横梁、Y轴横梁和Z轴研磨机构，所述X轴横梁设置在研磨加工台的左右两边，Y轴横梁横跨研磨加工台滑动连接在X轴横梁上，Z轴研磨机构滑动连接在Y轴横梁上，所述研磨加工台采用钢材制成。

进一步的，所述X轴横梁上设有导轨Ⅰ和连接板，导轨Ⅰ设置在X轴横梁的上端面，连接板滑动连接在导轨Ⅰ上，X轴横梁的下端通过工字钢连接在研磨加工台上。

进一步的，所述Y轴横梁的端部连接在X轴横梁的连接板上，Y轴横梁包括齿条固定梁、导轨固定梁、齿条、导轨Ⅱ、电机安装座Ⅰ和用于驱动Y轴横梁沿X轴横梁运动的电机Ⅰ，电机Ⅰ安装在电机安装座Ⅰ上，齿条安装在齿条固定梁上，齿条与电机Ⅰ的输出轴连接，导轨Ⅱ安装在导轨固定梁上，Z轴研磨机构滑动连接在导轨Ⅱ上。

进一步的，所述Z轴研磨机构包括控制研磨结构在Z轴方向运动的Z轴模组、研磨头、滑台连接板、用于驱动研磨头工作的电机Ⅱ和电机安装座Ⅱ，滑台连接板连接在Y轴横梁的导轨Ⅱ上，滑台连接板上设有与Y轴横梁上的齿条啮合的齿轮。

进一步的，所述Z轴模组通过导轨滑动连接在滑台连接板上，Z轴模组的下端与电机安装座Ⅱ连接，电机Ⅱ安装在电机安装座Ⅱ上，电机Ⅱ的输出轴与研磨头安装座连接，研磨头安装在研磨头安装座上。

进一步的，所述Z轴研磨机构还包括固定板，固定板位于电机安装座Ⅱ的下方，固定板上设有导柱，电机安装座上设有导套，导柱插接在导套中。

进一步的，在电机安装座与研磨头安装座之间还设有联动机构，联动机构包括X联动板、Y联动板、联动轴和偏心块，偏心块的一侧连接在电机Ⅱ的输出轴上，偏心块的另一侧与联动轴连接，X联动板和Y联动板上下排列布置，Y 联动板上设有中心导柱，联动轴穿过固定板和X联动板的中心通孔与中心导柱连接，研磨头安装座连接在Y联动板底端。