[实用新型]一种大尺寸硅片金刚线切割装置

说明书

本实用新型公开了一种大尺寸硅片金刚线切割装置，其包括本体，本体上设有三切割导辊，三切割导辊呈倒三角排布，上方两切割导辊之间形成切割间隙，金刚线绕在三切割导辊上并在切割间隙形成沿轴向排列的多个有效切割段，升降机构设于切割间隙上方，用于驱动硅棒向下，驱动机构用于驱动三切割导辊交替进行正转和反转，并带动金刚线对硅棒进行切割。本实用新型大尺寸硅片金刚线切割装置通过设置三切割导辊，将金刚线绕在三切割导辊上并在切割间隙形成沿轴向排列的多个有效切割段，并通过驱动机构驱动三切割导辊交替进行正转和反转，可将硅棒一次性切割成多个硅片，显著提升切割效率，满足大规模生产的需求。

技术领域

本实用新型涉及硅片切割技术领域，特别涉及一种大尺寸硅片金刚线切割装置。

背景技术

硅片的生产加工，尤其是对硅棒进行切割从而获取合格的硅片是整个产业链中的重要一环。而在硅片生产加工领域，现有的硅片切割大多是采用两导轮带动金刚线对硅棒进行切割，一次只能切割一块硅片，存在切割效率低的问题，已不能满足社会化大生产的需求。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型目的在于提供一种结构合理，切割效率高的大尺寸硅片金刚线切割装置。其采用如下技术方案：

一种大尺寸硅片金刚线切割装置，其包括本体，所述本体上设有：

三切割导辊，所述三切割导辊呈倒三角排布，上方两切割导辊之间形成切割间隙；

金刚线，绕在所述三切割导辊上并在所述切割间隙形成沿轴向排列的多个有效切割段；

升降机构，设于所述切割间隙上方，用于驱动硅棒向下；

驱动机构，用于驱动所述三切割导辊交替进行正转和反转，并带动所述金刚线对硅棒进行切割。

作为本实用新型的进一步改进，所述三切割导辊上沿轴向均设有多个环形切割线槽，上方两切割导辊上的环形切割线槽一一对应设置，所述金刚线绕设在所述环形切割线槽内使得所述有效切割段与所述切割导辊的轴向垂直。

作为本实用新型的进一步改进，下方切割导辊上的环形切割线槽与上方切割导辊上的环形线槽交错设置。

作为本实用新型的进一步改进，所述升降机构底部设有固定板，所述固定板底部设有粘接平面，硅棒粘接于所述粘接平面底部。

作为本实用新型的进一步改进，所述升降机构底部通过水平滑槽与固定板连接，所述水平滑槽用于沿所述切割导辊的轴向调节所述硅棒。

作为本实用新型的进一步改进，所述本体上还设有转接轮组，所述金刚线通过所述转接轮组绕在所述切割导辊上。

作为本实用新型的进一步改进，所述转接轮组包括水平转接轮和竖直转接轮。

作为本实用新型的进一步改进，所述切割间隙内设有集废槽，所述集废槽设于所述有效切割段下方。

作为本实用新型的进一步改进，所述驱动机构为驱动电机。

作为本实用新型的进一步改进，所述驱动电机包括第一电机、第二电机和第三电机，所述第一电机、第二电机和第三电机分别与所述三切割导辊连接。

本实用新型的有益效果：

本实用新型大尺寸硅片金刚线切割装置通过设置三切割导辊，将金刚线绕在三切割导辊上并在切割间隙形成沿轴向排列的多个有效切割段，并通过驱动机构驱动三切割导辊交替进行正转和反转，可将硅棒一次性切割成多个硅片，显著提升切割效率，满足大规模生产的需求。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明