[实用新型]一种能够提高韧度的铜键合丝退火装置

说明书

本实用新型公开了一种能够提高韧度的铜键合丝退火装置，属于铜键合丝生产领域，包括壳体、铜键合丝本体、导热翅片、冷凝器、冷却机构和清理刷，所述壳体内部的中间安装有第一腔体，第一腔体的内部安装有第二腔体，第二腔体的外侧壁体上安装有螺旋加热丝；所述第三腔体的左侧安装有清理刷，清理刷的左侧设置有两个导向辊；所述壳体的上方安装有惰性气体罐，第一连接管上安装有加压风机；所述第一连接管的右侧安装有冷凝器，第三连接管的下方安装有布气罩，第三腔体的右侧安装有冷却机构。本实用新型的有益效果是：通过设置的清理刷能够对铜键合丝本体的表面灰尘进行清理，能够防止铜键合丝本体表面的灰尘影响退火效果。

技术领域

本实用新型属于铜键合丝生产领域，具体是一种能够提高韧度的铜键合丝退火装置。

背景技术

键合是集成电路生产中的一道重要工序，键合一般使用键合丝来完成，键合丝是微电子工业的一种重要材料，主要用于芯片和引线框架之间的连接，铜键合丝是键合丝的一种，是一种具备优异电器、导热、机械性能并且化学性质稳定的极好内引线材料。铜键合丝在生产过程中，需要进行退火处理，但现有的用于铜键合丝生产的退火装置大多数结构比较单一，一般通过高温加热后自然冷却，高温加热时铜键合丝容易受到外界环境影响而氧化，影响铜键合丝的质量，同时退火后铜键合丝仍具有一定的余热，自然冷却缓慢，工作效率低，而且余热容易使铜键合丝的内部产生应力，降低了铜键合丝的韧性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种能够提高韧度的铜键合丝退火装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种能够提高韧度的铜键合丝退火装置，包括壳体、铜键合丝本体、导热翅片、冷凝器、冷却机构和清理刷，所述壳体内部的中间安装有第一腔体，第一腔体的内部安装有第二腔体，第二腔体的外侧壁体上安装有螺旋加热丝，第二腔体的内部安装有第三腔体，第二腔体和第三腔体之间均布设置有多个导热翅片，导热翅片延伸到第三腔体的内部，第三腔体的左右两侧中间设置有走线孔，走线孔内贯穿有铜键合丝本体；所述第三腔体的左侧安装有清理刷，清理刷的左侧设置有两个导向辊；所述壳体的上方安装有惰性气体罐，惰性气体罐的右侧安装有第一连接管，第一连接管上安装有加压风机，第一连接管的下方安装有第二连接管；所述第一连接管的右侧安装有冷凝器，冷凝器的下方安装有第三连接管，第三连接管的下方安装有布气罩，第三腔体的右侧安装有冷却机构，铜键合丝本体从左向右贯穿冷却机构，布气罩安装在冷却机构的上方。

作为本实用新型的进一步方案：所述清理刷设置为两个上下对称分布，铜键合丝本体设置在上下两个清理刷之间。

作为本实用新型的进一步方案：所述导向辊的左侧设置有伸缩气缸，伸缩气缸安装在壳体内壁上方，伸缩气缸的下方安装有张紧轮。

作为本实用新型的进一步方案：所述第二连接管的下方连接到第三腔体的右侧上方，第三腔体的左侧下方设置有排气管，排气管上设置有单向排气阀。

作为本实用新型的再进一步方案：所述冷却机构的上方壁体均布设置有多个进气孔，冷却机构的下方壁体均布设置有多个出气孔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过设置的清理刷能够对铜键合丝本体的表面灰尘进行清理，能够防止铜键合丝本体表面的灰尘影响退火效果；通过设置的导热翅片能够更加高效的将热量传递到第三腔体内，使退火更加的高效；通过设置的惰性气体罐和加压风机之间的配合使用能够将第三腔体内的空气排出，防止铜键合丝本体受热氧化；通过设置的冷凝器、布风罩和冷却机构之间的配合使用，能够使退火后的铜键合丝本体快速降温冷却，防止铜键合丝本体的余热是铜键合丝本体内部产生应力，降低铜键合丝本体的韧性。

附图说明

图1为一种能够提高韧度的铜键合丝退火装置的结构示意图。

图2为一种能够提高韧度的铜键合丝退火装置中第三腔体的结构示意图。