[实用新型]一种能够提高韧度的铜键合丝退火装置

权利要求书

1.一种能够提高韧度的铜键合丝退火装置，包括壳体(1)、铜键合丝本体(5)、导热翅片(8)、冷凝器(15)、冷却机构(18)和清理刷(23)，其特征在于，所述壳体(1)内部的中间安装有第一腔体(2)，第一腔体(2)的内部安装有第二腔体(6)，第二腔体(6)的外侧壁体上安装有螺旋加热丝(7)，第二腔体(6)的内部安装有第三腔体(3)，第二腔体(6)和第三腔体(3)之间均布设置有多个导热翅片(8)，导热翅片(8)延伸到第三腔体(3)的内部，第三腔体(3)的左右两侧中间设置有走线孔(4)，走线孔(4)内贯穿有铜键合丝本体(5)；所述第三腔体(3)的左侧安装有清理刷(23)，清理刷(23)的左侧设置有两个导向辊(22)；所述壳体(1)的上方安装有惰性气体罐(9)，惰性气体罐(9)的右侧安装有第一连接管(10)，第一连接管(10)上安装有加压风机(11)，第一连接管(10)的下方安装有第二连接管(12)；所述第一连接管(10)的右侧安装有冷凝器(15)，冷凝器(15)的下方安装有第三连接管(16)，第三连接管(16)的下方安装有布气罩(17)，第三腔体(3)的右侧安装有冷却机构(18)，铜键合丝本体(5)从左向右贯穿冷却机构(18)，布气罩(17)安装在冷却机构(18)的上方。

2.根据权利要求1所述的一种能够提高韧度的铜键合丝退火装置，其特征在于，所述清理刷(23)设置为两个上下对称分布，铜键合丝本体(5)设置在上下两个清理刷(23)之间。

3.根据权利要求1所述的一种能够提高韧度的铜键合丝退火装置，其特征在于，所述导向辊(22)的左侧设置有伸缩气缸(20)，伸缩气缸(20)安装在壳体(1)内壁上方，伸缩气缸(20)的下方安装有张紧轮(21)。

4.根据权利要求1所述的一种能够提高韧度的铜键合丝退火装置，其特征在于，所述第二连接管(12)的下方连接到第三腔体(3)的右侧上方，第三腔体(3)的左侧下方设置有排气管(13)，排气管(13)上设置有单向排气阀(14)。

5.根据权利要求1所述的一种能够提高韧度的铜键合丝退火装置，其特征在于，所述冷却机构(18)的上方壁体均布设置有多个进气孔(24)，冷却机构(18)的下方壁体均布设置有多个出气孔(19)。