[发明专利]金刚石膜穿孔加工的方法和系统

说明书

本申请公开了一种金刚石膜穿孔加工的方法和系统，属于激光穿孔领域。所述方法包括：将待穿孔的金刚石膜固定于加工台的表面；使用喷液器，在所述金刚石膜的远离所述加工台的表面，持续喷射液体，以形成流动的液膜；使用激光器，在所述液膜的远离所述金刚石膜的表面，辐射激光束，得到具有通孔的金刚石膜。采用本申请，喷射的飞溅物漂浮在液膜的表面，并随着液膜的流动，脱离金刚石膜，能够减少甚至避免飞溅物对金刚石膜的表面的烧灼，进而提升金刚石膜的表面平整度。

技术领域

本申请涉及激光穿孔技术领域，特别涉及一种金刚石膜穿孔加工的方法和系统。

背景技术

金刚石具有良好的导热性，随着金刚石化学气相沉积(Chemical VaporDeposition，CVD)技术日趋成熟，金刚石膜作为散热介质的应用越来越广。

金刚石膜在使用中，需要进行穿孔，以使金刚石膜上下表面的两个部件能够建立电连接。激光穿孔便是一种常见的穿孔方式，激光穿孔中，高能量的激光束辐射在金刚石膜，使聚焦点处的金刚石膜瞬时熔化，而形成通孔。

但是在激光穿孔中，会向外喷射飞溅物，这些飞溅物落在金刚石膜的表面，会造成表面烧灼，降低金刚石膜的表面平整度。

发明内容

本申请提供了一种金刚石膜穿孔加工的方法和系统，能够解决相关技术中的问题，所述技术方案如下：

一方面，提供了一种金刚石膜穿孔加工的方法，所述方法包括：

将待穿孔的金刚石膜固定于加工台的表面；

使用喷液器，在所述金刚石膜的远离所述加工台的表面，持续喷射液体，以形成流动的液膜；

使用激光器，在所述液膜的远离所述金刚石膜的表面，辐射激光束，得到具有通孔的金刚石膜。

在一种示例中，加工台的表面可以具有用于放置金刚石膜的安装位，金刚石膜可以固定在该安装位处。

其中，加工台可以具有移动功能，以便于调整金刚石膜的位置，使金刚石膜的穿孔位置和激光器的激光聚焦位置能够相对。当然，加工台也可以不具有移动功能，而激光器具有位置调整功能，以便于调整激光器的激光聚焦位置和金刚石膜的穿孔位置相对。

在一种可能的实施方式中，所述液膜的厚度在10um至200um范围内。

为了使液膜能够比较好的承载飞溅物，相应的，在金刚石膜的表面形成的液膜的厚度在10um至200um范围内。

在一种示例中，可以通过调整喷液器的喷液嘴的喷射速度和喷液嘴的形状，来调整液膜的厚度，使其厚度控制在10um至200um范围内。

这种将液膜厚度控制在10um至200um范围内，能够使激光穿孔中喷射的飞溅物漂浮在液膜的表面，不易沉入至金刚石膜的表面，进而能够减少飞溅物对金刚石膜表面的灼烧。

在一种可能的实施方式中，所述液体为去离子水，所述液膜为水膜。

在一种示例中，去离子水作为喷液器喷射的液体，不会对金刚石膜的表面带来额外的污染，有利于保持金刚石膜表面的清洁性。

在另一种可能的实施方式中，所述液体也可以是有机溶剂，例如，可以是甲醇、乙醇和丙酮等有机溶剂中的一种或多种的混合物。

在另一种可能的实施方式中，上述溶液也可以是去离子水和有机溶剂的混合物，例如，可以是去离子水和乙醇的混合物，也可以是去离子水和甲醇的混合物，还可以是去离子水和丙酮的混合物，还可以是去离子水、甲醇和乙醇的混合物，还可以是去离子水、甲醇、乙醇和丙酮的混合物等。

含有有机溶剂的液体，覆盖在金刚石膜的表面，还能够起到为金刚石膜的表面进行清洗的作用。