[发明专利]金刚石膜穿孔加工的方法和系统在审
| 申请号： | 202011621656.7 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114682929A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 魏潇赟;王俊友;杨勇;邓抄军;汪波 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/60;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 李芳 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金刚石 穿孔 加工 方法 系统 | ||
1.一种金刚石膜穿孔加工的方法，其特征在于，所述方法包括：
将待穿孔的金刚石膜(4)固定于加工台(1)的表面；
使用喷液器(2)，在所述金刚石膜(4)的远离所述加工台(1)的表面，持续喷射液体，以形成流动的液膜(5)；
使用激光器(3)，在所述液膜(5)的远离所述金刚石膜(4)的表面，辐射激光束，得到具有通孔的金刚石膜(4)。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述液膜(5)的厚度在10um至200um范围内。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述液体为去离子水、有机溶剂或者去离子水和有机溶剂的混合物。
4.根据权利要求1至3任一所述的方法，其特征在于，所述金刚石膜(4)包括金刚石层(41)和保护层(42)，所述金刚石层(41)位于所述加工台(1)的表面，所述保护层(42)覆盖在所述金刚石层(41)的表面；
所述使用喷液器(2)，在所述金刚石膜(4)的远离所述加工台(1)的表面，持续喷射液体，以形成流动的液膜(5)，包括：
使用喷液器(2)，在所述保护层(42)的远离所述金刚石层(41)的表面，持续喷射液体，以形成流动的液膜(5)。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
对完成穿孔的金刚石膜(4)进行清洗处理，以去除所述保护层(42)，得到具有通孔的金刚石层(41)。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述对完成穿孔的金刚石膜(4)进行清洗处理，以去除所述保护层(42)，得到具有通孔的金刚石层(41)，包括：
通过湿法刻蚀或者干法刻蚀，对完成穿孔的金刚石膜(4)进行清洗处理，以去除所述保护层(42)，得到具有通孔的金刚石层(41)。
7.根据权利要求4至6任一所述的方法，其特征在于，所述金刚石层(41)和所述保护层(42)之间的结合能高于20J/m2。
8.根据权利要求4至7任一所述的方法，其特征在于，所述保护层(42)为金属物、金属氧化物、有机化合物和热相变物中的一种。
9.一种金刚石膜穿孔加工的系统，其特征在于，所述系统包括加工台(1)、喷液器(2)和激光器(3)；
所述加工台(1)用于固定待穿孔的金刚石膜(4)；
所述喷液器(2)位于所述加工台(1)的侧部，用于向位于所述加工台(1)表面的所述金刚石膜(4)持续喷射液体，以形成流动的液膜(5)；
所述激光器(3)位于所述加工台(1)的上方，用于向位于所述加工台(1)表面的所述金刚石膜(4)辐射激光束，以得到具有通孔的金刚石膜(4)。
10.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，所述喷液器(2)的喷液嘴(21)靠近所述加工台(1)，且所述喷液嘴(21)的高度和所述加工台(1)的高度相适配。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华为技术有限公司，未经华为技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202011621656.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：神经网络模型的处理方法和设备
- 下一篇：一种烘焙油脂组合物及其制备方法
