[发明专利]一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备在审
申请号: | 202011543644.7 | 申请日: | 2020-12-23 |
公开(公告)号: | CN112808699A | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
发明(设计)人: | 金安年 | 申请(专利权)人: | 泗阳垠创运营管理有限公司 |
主分类号: | B08B5/02 | 分类号: | B08B5/02;B08B5/04;B01D46/10;H01L21/67 |
代理公司: | 宿迁市永泰睿博知识产权代理事务所(普通合伙) 32264 | 代理人: | 陈科巧 |
地址: | 223700 江苏省宿*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 防尘 效果 半导体器件 制造 加工 设备 | ||
本发明公开了一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备,包括支撑板,所述支撑板顶部的正面和背面均栓接有支撑架,所述支撑架的顶部栓接有加工箱,所述加工箱的内腔设置有防尘机构,所述加工箱内腔的顶部设置有配合防尘机构使用的吸尘机构。本发明通过第一气泵、软管、第二电机、主动齿轮、第一从动齿轮、第二从动齿轮、固定管、连接管、U型管和喷嘴的配合,便于使用者利用第二电机带动两组固定管进行同时旋转,从而通过旋转的喷嘴对加工箱的内腔进行全方位吹拂,进而使加工箱内的灰尘始终处于漂浮状态,通过第二气泵、通气管、分流管、扩散管、管道和吸头的配合,便于使用者利用第二气泵带动多个吸头对漂浮的灰尘进行快速吸收。
技术领域
本发明涉及半导体器件技术领域,具体为一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备。
背景技术
半导体器件是导电性介于良导电体与绝缘体之间,利用半导体材料特殊电特性来完成特定功能的电子器件,可用来产生、控制、接收、变换、放大信号和进行能量转换,半导体器件的半导体材料是硅、锗或砷化镓,可用作整流器、振荡器、发光器、放大器、测光器等器材,绝大部分二端器件(即晶体二极管)的基本结构是一个PN结。
随着半导体器件的需求不断增加,使用者需要用到加工设备对半导体器件进行大量加工,然而传统半导体器件制造用加工设备在对半导体器件进行加工时,防尘效果很差,灰尘的四处飘散会影响电流,从而使半导体器件损坏,进而会提高半导体器件的次品率,极大的提高了使用者的成本。
因此亟需设计一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备来解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备,以解决上述背景技术中提出的传统半导体器件制造用加工设备防尘效果差的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备,包括支撑板,所述支撑板顶部的正面和背面均栓接有支撑架,所述支撑架的顶部栓接有加工箱,所述加工箱的内腔设置有防尘机构,所述加工箱内腔的顶部设置有配合防尘机构使用的吸尘机构,所述加工箱右侧的底部栓接有固定架,所述加工箱左侧的底部栓接有配合吸尘机构使用的水箱,所述加工箱正面的左侧通过合页铰接有箱门,且箱门正面的底部栓接有控制器,所述加工箱的顶部栓接有固定框,所述固定框的顶部栓接有第一电机,所述第一电机的输出轴贯穿至固定框的内腔并栓接有扇叶,所述固定框内腔两侧的底部均栓接有安装板,且安装板相向的一侧从前至后均依次栓接有加热棒,所述加工箱的顶部开设有进气槽,所述加工箱内腔的底部栓接有放置板。
优选的,所述防尘机构包括第一气泵、软管、第二电机、主动齿轮、第一从动齿轮、第二从动齿轮、固定管、连接管、U型管和喷嘴,所述加工箱右侧的顶部栓接有第一气泵,所述第一气泵的进气口连通有进气管,所述第一气泵的出气口通过出气管连通有软管,所述加工箱右侧的底部栓接有第二电机,所述第二电机的输出端栓接有主动齿轮,所述主动齿轮的顶部啮合有第一从动齿轮,所述第一从动齿轮的顶部啮合有第二从动齿轮,所述第一从动齿轮和第二从动齿轮的内腔均栓接有固定管,所述固定管的左侧贯穿至加工箱的内腔并通过轴承与加工箱内腔的左侧转动连接,所述固定管的顶部和底部从左至右均依次连通有喷嘴,所述固定管的右侧嵌设有密封轴承,且密封轴承的内圈转动连接有连接管,所述连接管的右端贯穿固定架并连通有U型管,所述U型管的右侧与软管远离第一气泵的一端连通。
优选的,所述吸尘机构包括第二气泵、通气管、分流管、扩散管、管道和吸头,所述加工箱左侧顶部的正面栓接有第二气泵,所述第二气泵的出气口连通有输送管,且输送管远离第二气泵的一端贯穿至水箱的内腔,所述第二气泵的进气口连通有通气管,所述通气管远离第二气泵的一端连通有分流管,所述分流管右侧的正面和背面均连通有扩散管,所述扩散管的底部从左至右均依次连通有管道,所述管道的底端贯穿至加工箱的内腔并连通有吸头。
优选的,所述加工箱右侧顶部的中心处栓接有进气盒,所述进气盒内腔的顶部嵌设有过滤板,所述进气盒底部的中心处与进气管远离第一气泵的一端连通。
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