[发明专利]一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备

权利要求书

1.一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备，包括支撑板（1），其特征在于：所述支撑板（1）顶部的正面和背面均栓接有支撑架（2），所述支撑架（2）的顶部栓接有加工箱（3），所述加工箱（3）的内腔设置有防尘机构（5），所述加工箱（3）内腔的顶部设置有配合防尘机构（5）使用的吸尘机构（12），所述加工箱（3）右侧的底部栓接有固定架（6），所述加工箱（3）左侧的底部栓接有配合吸尘机构（12）使用的水箱（11），所述加工箱（3）正面的左侧通过合页铰接有箱门，且箱门正面的底部栓接有控制器，所述加工箱（3）的顶部栓接有固定框（4），所述固定框（4）的顶部栓接有第一电机（13），所述第一电机（13）的输出轴贯穿至固定框（4）的内腔并栓接有扇叶（14），所述固定框（4）内腔两侧的底部均栓接有安装板，且安装板相向的一侧从前至后均依次栓接有加热棒（15），所述加工箱（3）的顶部开设有进气槽，所述加工箱（3）内腔的底部栓接有放置板。

2.根据权利要求1所述的一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备，其特征在于：所述防尘机构（5）包括第一气泵（51）、软管（52）、第二电机（53）、主动齿轮（54）、第一从动齿轮（55）、第二从动齿轮（56）、固定管（57）、连接管（58）、U型管（59）和喷嘴（510），所述加工箱（3）右侧的顶部栓接有第一气泵（51），所述第一气泵（51）的进气口连通有进气管，所述第一气泵（51）的出气口通过出气管连通有软管（52），所述加工箱（3）右侧的底部栓接有第二电机（53），所述第二电机（53）的输出端栓接有主动齿轮（54），所述主动齿轮（54）的顶部啮合有第一从动齿轮（55），所述第一从动齿轮（55）的顶部啮合有第二从动齿轮（56），所述第一从动齿轮（55）和第二从动齿轮（56）的内腔均栓接有固定管（57），所述固定管（57）的左侧贯穿至加工箱（3）的内腔并通过轴承与加工箱（3）内腔的左侧转动连接，所述固定管（57）的顶部和底部从左至右均依次连通有喷嘴（510），所述固定管（57）的右侧嵌设有密封轴承，且密封轴承的内圈转动连接有连接管（58），所述连接管（58）的右端贯穿固定架（6）并连通有U型管（59），所述U型管（59）的右侧与软管（52）远离第一气泵（51）的一端连通。

3.根据权利要求1所述的一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备，其特征在于：所述吸尘机构（12）包括第二气泵（121）、通气管（122）、分流管（123）、扩散管（124）、管道（125）和吸头（126），所述加工箱（3）左侧顶部的正面栓接有第二气泵（121），所述第二气泵（121）的出气口连通有输送管，且输送管远离第二气泵（121）的一端贯穿至水箱（11）的内腔，所述第二气泵（121）的进气口连通有通气管（122），所述通气管（122）远离第二气泵（121）的一端连通有分流管（123），所述分流管（123）右侧的正面和背面均连通有扩散管（124），所述扩散管（124）的底部从左至右均依次连通有管道（125），所述管道（125）的底端贯穿至加工箱（3）的内腔并连通有吸头（126）。

4.根据权利要求1所述的一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备，其特征在于：所述加工箱（3）右侧顶部的中心处栓接有进气盒（8），所述进气盒（8）内腔的顶部嵌设有过滤板（9），所述进气盒（8）底部的中心处与进气管远离第一气泵（51）的一端连通。

5.根据权利要求1所述的一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备，其特征在于：所述加工箱（3）内腔左侧正面的顶部栓接有粒子计数器（10），所述固定框（4）顶部正面的左侧栓接有报警器。

6.根据权利要求1所述的一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备，其特征在于：所述固定架（6）内腔的正面和背面均嵌设有防尘网（7），所述防尘网（7）的左侧与加工箱（3）的右侧活动连接。

7.根据权利要求2所述的一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备，其特征在于：所述第一从动齿轮（55）和第二从动齿轮（56）的面积相同，所述主动齿轮（54）的面积小于第一从动齿轮（55）和第二从动齿轮（56）的面积。