[发明专利]一种网格图形统一尺寸的方法、存储介质及计算机设备有效

专利信息
申请号: 202010576089.1 申请日: 2020-06-22
公开(公告)号: CN111752088B 公开(公告)日: 2023-04-07
发明(设计)人: 何大权;陈翰;张辰明 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: G03F1/36 分类号: G03F1/36
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 曹廷廷
地址: 201315*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 网格 图形 统一 尺寸 方法 存储 介质 计算机 设备
【权利要求书】:

1.一种网格图形统一尺寸的方法,其特征在于,包括,

选择第一目标图形,其中,所述第一目标图形包括若干个第一宽度图形线和若干个第二宽度图形线,所述第一宽度图形线的线宽和所述第二宽度图形线的线宽满足以下第一关系式:

a=b+G,

上述第一关系式中的a为所述第一宽度图形线的线宽、b为所述第二宽度图形线的线宽、G为图形尺寸精度;

所述第一宽度图形线垂直于所述第二宽度图形线;定义水平方向为第一方向,定义垂直于所述第一方向的方向为第二方向;定义平行于所述第二方向的所述第一宽度图形线为第一图形线,定义平行于所述第一方向的所述第二宽度图形线为第二图形线;

根据所述第一目标图形中图形线的交叉点及所述第二宽度图形线,通过以下步骤将至少一个所述第二宽度图形线的线宽扩增至所述第一宽度图形线的线宽:

判断所述第一目标图形中是否存在所述第二图形线,若不存在,则将所述第一目标图形作为第三目标图形,否则,执行以下步骤,

步骤S1:输入所述第一目标图形,从所述第一目标图形中提取所述第一宽度图形线和所述第二宽度图形线,得到第一输出图形;将所述第一输出图形从所述第一目标图形中去除,得到第一交叉点图形;

步骤S2:提取所述第一输出图形中的所述第二图形线得到第二输出图形;

步骤S3:合并所述第一交叉点图形和所述第二输出图形,得到第三输出图形;

步骤S4:在所述第三输出图形中,根据所述第二图形线与第一连接边的连接关系,沿所述第二方向,往外扩展所述第二图形线的上边线和/或下边线图形尺寸精度大小,得到第四输出图形;其中,所述第一交叉点图形与所述第二输出图形合并后与所述第二图形线形成的台阶边为所述第一连接边;

步骤S5:合并所述第一目标图形和所述第四输出图形,得到第二目标图形;

步骤S6:判断所述第二目标图形中是否存在第五图形线,若不存在,则将所述第二目标图形作为第三目标图形,所述第二图形线的线宽调整完成,其中,所述第五图形线由所述第二图形线以及所述第四输出图形得到,且所述第五图形线与所述第一图形线满足以下第二关系式:

c=a+G,

上述第二关系式中的a为所述第一图形线的线宽、c为所述第五图形线的线宽、G为所述图形尺寸精度;

否则,提取第二目标图中的所有所述第五图形线,得到第五输出图形,沿所述第一方向,向下和向左收缩所述第五图形线图形尺寸精度大小,得到第六输出图形,并执行步骤S7;

步骤S7:去除所述第二目标图形中的所述第五输出图形,并合并所述第六输出图形,得到第三目标图形。

2.根据权利要求1所述的网格图形统一尺寸的方法,其特征在于,所述第一连接边垂直于所述第二图形线的上边线或垂直于所述第二图形线的下边线。

3.根据权利要求2所述的网格图形统一尺寸的方法,其特征在于,所述第一连接边的长度等于所述图形尺寸精度。

4.根据权利要求1所述的网格图形统一尺寸的方法,其特征在于,所述步骤S1中将所述第一输出图形从所述第一目标图形中去除,得到第一交叉点图形的方法包括,通过对所述第一输出图形进行逻辑非运算,得到所述第一交叉点图形。

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