[发明专利]一种激光功率测试仪响应线性的对数校准方法

说明书

本发明公开了一种激光功率测试仪响应线性的对数校准方法，首先确定待校准激光功率测试仪的测试功率线性校准范围；利用倍增叠加法在所述线性校准范围内测试非线性系数；计算所得到的非线性系数的平均值；获得所述待校准激光功率测试仪在示数为P_{1_s}时对应的线性修正系数；基于倍增叠加法对修正后响应曲线的线性进行评估，如果线性不能达到要求，则重复上述操作进行线性修正，直到满足要求为止。上述方法能够方便快捷的实现激光功率测试仪响应线性的校准。

技术领域

本发明涉及激光功率测试仪技术领域，尤其涉及一种激光功率测试仪响应线性的对数校准方法。

背景技术

激光功率测试仪是将待测激光转换为电流或电压信号，通过信号读出系统给出待测激光功率的仪器，根据转换信号的不同，激光功率测试仪可以分为电流型和电压型两大类，电流型的激光功率测试仪是将待测激光转换为电流信号，然后放大、滤波、AD转换等电路，将电流信号通过下位机的显示屏或通过连接上位机读出，在这种类型的激光功率测试仪中，实现激光到电信号转换的器件主要为光电二极管；电压型激光功率测试仪是将激光转换为电压信号，经过后续处理电路对电压信号进行处理后，由下位机的显示屏或上位机给出示数，得到待测激光功率的值，光电转换常用的方法是将光信号转换为热信号，再将热信号转换为电压信号，实际中常通过热电偶或热电堆得到电压信号。

无论是电流型还是电压型的激光功率测试仪，都要求工作在线性区，但由于光电转换器件不可能严格是线性的，所以会存在非线性，需要进行线性校准，现有技术的方法是利用标准功率计和待校准功率计进行对比校准测试，改变入射激光的功率值，获得多个校准点，给出每个校准点对应的待测激光功率测试仪的响应值，在不同校准点之间，采用线性内插的方法进行线性校准。但现有技术的这种方式对标准激光功率计的线性要求很高，线性校准的结果依赖于标准功率计，而对于标准功率计没有覆盖的功率范围，则无法进行直接的对比校准。

发明内容

本发明的目的是提供一种激光功率测试仪响应线性的对数校准方法，该方法能够方便快捷的实现激光功率测试仪响应线性的校准，适用于基于光电二极管的电流型激光功率测试仪以及基于热电堆或热电偶的电压型激光功率测试仪的线性校准。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

一种激光功率测试仪响应线性的对数校准方法，所述方法包括：

步骤1、确定待校准激光功率测试仪的测试功率线性校准范围，分别对应下限P_{1_min}和上限P_{1_max}；

步骤2、利用倍增叠加法在所述线性校准范围内测试非线性系数；

步骤3、计算步骤2所得到的非线性系数的平均值；

步骤4、获得所述待校准激光功率测试仪在示数为P_{1_s}时对应的线性修正系数；

步骤5、基于倍增叠加法对修正后响应曲线的线性进行评估，如果线性不能达到要求，则重复步骤1-4的操作进行线性修正，直到满足要求为止。

由上述本发明提供的技术方案可以看出，上述方法能够方便快捷的实现激光功率测试仪响应线性的校准，适用于基于光电二极管的电流型激光功率测试仪以及基于热电堆或热电偶的电压型激光功率测试仪的线性校准。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。

图1为本发明实施例提供的激光功率测试仪响应线性的对数校准方法流程示意图；

图2为本发明实施例所述倍增叠加法的实施示意图。

具体实施方式