[发明专利]一种激光功率测试仪响应线性的对数校准方法

权利要求书

1.一种激光功率测试仪响应线性的对数校准方法，其特征在于，所述方法包括：

步骤1、确定待校准激光功率测试仪的测试功率线性校准范围，分别对应下限P_{1_min}和上限P_{1_max}；

步骤2、利用倍增叠加法在所述线性校准范围内测试非线性系数；

步骤3、计算步骤2所得到的非线性系数的平均值；

步骤4、获得所述待校准激光功率测试仪在示数为P_{1_s}时对应的线性修正系数；

在步骤4中，具体利用如下公式获得所述待校准激光功率测试仪在示数为P_{1_s}时对应的线性修正系数：

式中，为非线性系数的平均值；

P_{1_s}对应的修正值为：P_{2_s}＝η_sP_{1_s}；

步骤5、基于倍增叠加法对修正后响应曲线的线性进行评估，如果线性不能达到要求，则重复步骤1-4的操作进行线性修正，直到满足要求为止。

2.根据权利要求1所述激光功率测试仪响应线性的对数校准方法，其特征在于，

在步骤1中，所述测试功率线性校准范围位于所述待校准激光功率测试仪的线性区。

3.根据权利要求1所述激光功率测试仪响应线性的对数校准方法，其特征在于，在步骤2中，所述倍增叠加法的具体过程为：

将功率为P_i的入射光分为功率大致相等的两束，分别为P_i-1,1、P_i-1,2，且满足：

P_i、P_i-1,1、P_i-1,2对应待校准激光功率测试仪的示数分别为P_{1_i}、P_{1_i-1,1}、P_{1_i-1,2}，从P_i-1～P_i的非线性系数满足：

在步骤1所得到的上下限[P_{1_min},P_{1_max}]的范围内进行倍增叠加，取P_{1_0}≤P_{1_min}、P_{1_n}≥P_{1_max}，分别计算P_{1_0}～P_{1_1}、P_{1_1}～P_{1_2}、 ……P_{1_n-1}～P_{1_n}对应的非线性系数Δ_NL(P_{1_1}:P_{1_0})、Δ_NL(P_{1_2}:P_{1_1})、 ……Δ_NL(P_{1_n-1}:P_{1_n})。

4.根据权利要求1所述激光功率测试仪响应线性的对数校准方法，其特征在于，在步骤2中，对于相邻两次倍增叠加法，为保证覆盖整个线性校准范围，后一次的两个功率分量小于前一次的功率值，即满足：

且考虑到整个倍增叠加过程需要对待校准激光功率测试仪的线性校准范围全覆盖，所以倍增叠加的初始功率需要小于等于线性校准范围的下限，即：

5.根据权利要求1所述激光功率测试仪响应线性的对数校准方法，其特征在于，所述步骤3的过程为：

在整个线性校准范围内，所有的Δ_NL(P_{1_i-1}:P_{1_i})求平均值，得到非线性系数的平均值计算公式为：

6.根据权利要求1所述激光功率测试仪响应线性的对数校准方法，其特征在于，所述待校准激光功率测试仪为电流型测试仪或电压型测试仪，所述电流型测试仪将入射激光转换为电流信号，所述电流型测试仪的示数是对电流信号大小的反映；

所述电压型测试仪将入射激光转换为电压信号，所述电压型测试仪的示数是对电压信号大小的反映。