[发明专利]一种大尺寸板条状人造红宝石晶体制备方法在审
申请号: | 202010264810.3 | 申请日: | 2020-04-07 |
公开(公告)号: | CN111519252A | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 顾跃;丁雨憧;李海林;姜磊 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B11/00;C30B11/14 |
代理公司: | 重庆辉腾律师事务所 50215 | 代理人: | 王海军 |
地址: | 400060 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 尺寸 板条 人造 红宝石 晶体 制备 方法 | ||
1.一种大尺寸板条状人造红宝石晶体制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
A:将5N的氧化铝多晶料及氧化铬粉料的混合材料作为原料,放入钼制船形坩埚中;
B:船型坩埚顶端中间位置籽晶槽内放入籽晶,将坩埚放入晶体炉中,在坩埚周围摆放反射屏,关闭晶体炉,并开启晶体炉循环水冷却系统;
C:打开真空泵,令晶体炉内气压达到2×10-4Pa以下;
D:向晶体炉中充入氢气,直到晶体炉中气压达到1.4×105Pa~1.6×105Pa后停止氢气注入;
E:晶体炉升温系统升高晶体炉内部温度,使得在3小时内将晶体炉内温度达到2050°,并保持炉内温度为2050°,移动坩埚使加热器位于坩埚中部,等待原料完全融化;
F:调整坩埚位置,使得籽晶不融化,籽晶周围的熔融液也不凝固,此时移动坩埚使得籽晶融化2~4mm,保持此状态20~30分钟,然后反向移动坩埚,使熔融液体开始凝固;
G:晶体放肩生长期间,以3mm/h的移动速度持续移动坩埚,使坩埚内晶体沿着固定方向持续凝固;
H:当晶体放肩生长结束,以5mm/h的移动速度持续移动坩埚,直到晶体离开晶体炉加热器区间;
I:在20小时内缓慢将晶体炉的功率变为0,在等待晶体炉内部的温度到达室温;
J:连通晶体炉与外部的气体,待晶体炉内部气压稳定为大气压后打开晶体炉,取出红宝石晶体。
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸板条状人造红宝石晶体制备方法,其特征在于,氧化铝多晶料与氧化铬粉料的质量比为99.9:0.1—97:3。
3.根据权利要求1所述的一种大尺寸板条状人造红宝石晶体制备方法,其特征在于,移动坩埚使得籽晶融化2~4mm的过程中,坩埚移动的时速度为1mm/h。
4.根据权利要求1所述的一种大尺寸板条状人造红宝石晶体制备方法,其特征在于,晶体放肩生长期间,放肩角为60~120度。
5.根据权利要求1所述的一种大尺寸板条状人造红宝石晶体制备方法,其特征在于,晶体放肩生长时间为4~6小时。
6.根据权利要求1所述的一种大尺寸板条状人造红宝石晶体制备方法,其特征在于,籽晶晶向为C向、A向、M向或R向。
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