[实用新型]一种适用于多种尺寸基片的圆心定位装置

说明书

本实用新型提出一种适用于多种尺寸基片的圆心定位装置，包括：工作台，工作台上表面设有导轨，与导轨滑动连接有导杆，导杆一端垂直连接有定位杆，定位杆上连接有把手，导杆另一端连接有用于定位基片的V字型的定位板，工作台上设有与导杆平行的限位板，限位板与工作台滑动连接可平行的向导杆移动，限位板靠近导杆一端垂直连接有多个限位柱，在限位板上自靠近定位板一端的限位柱向靠近把手一端的限位柱的长度尺寸逐渐递减。本实用新型可应用于多种尺寸的圆形基片的圆心定位，不仅能够提高定位精度，且能够保证胶层厚度的一致性和均匀性。

技术领域

本实用新型属于纳米压印技术领域，尤其涉及一种适用于多种尺寸基片的圆心定位装置。

背景技术

纳米压印技术通过机械转移的手段达到了超高的分辨率，是一种新型的微纳加工技术，纳米压印的基本步骤包括在基片上涂覆胶液，压印，固化，分离等，而压印胶的涂覆方式有旋涂、滴胶、滚涂、喷雾等方式，其中旋涂最为常见。

旋涂原理即在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液，旋转速度，旋转时间和基片间的粘滞系数而不同。在旋涂开始之前，需把基片放置在吸盘中心，保证基片的中心和吸盘的中心同轴，若基片圆心偏离吸盘圆心，会影响基片在高速旋转时的稳定性，影响胶层厚度的一致性和均匀性。

CN208945650 U公开了一种高精度定位圆心的工装，从导向孔内将工件插入定位座内的锥形孔内，然后向左压定位座至最大位移处，调节托座高度，使托座上的工件保持水平，调节后再通过固定机构将定位座固定，即可确保工件左端面的圆心与加工孔同轴。但是由于该装置通过弧形圆槽进行定位，在对不同尺寸基片的进行圆心定位时，需更换弧形圆槽，不能同时应用于多种尺寸的基片的圆心定位，降低了工作效率。

发明内容

本实用新型针对上述的技术问题，提出一种适用于多种尺寸基片的圆心定位装置，此装置可应用于多种尺寸的圆形基片的圆心定位，不仅能够提高定位精度，且能够保证胶层厚度的一致性和均匀性。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种适用于多种尺寸基片的圆心定位装置，包括：工作台，所述工作台上表面设有导轨，与所述导轨滑动连接有导杆，所述导杆一端垂直连接有定位杆，所述定位杆上连接有把手，所述导杆另一端连接有用于定位基片的V字型的定位板，所述工作台上设有与所述导杆平行的限位板，所述限位板与工作台滑动连接可平行的向所述导杆移动，所述限位板靠近所述导杆一端垂直连接有多个限位柱，在所述限位板上自靠近所述定位板一端的限位柱向靠近所述把手一端的限位柱的长度尺寸逐渐递减。

作为优先的，上述适用于多种尺寸基片的圆心定位装置，在所述导轨靠近所述定位杆一端设置有用于限定所述导杆运动行程的端部限位板。

作为优先的，上述适用于多种尺寸基片的圆心定位装置，在所述限位柱上靠近所述导杆一端设置有磁体。

作为优先的，上述适用于多种尺寸基片的圆心定位装置，所述圆心定位装置还包括控制器。

作为优先的，上述适用于多种尺寸基片的圆心定位装置，与所述导杆靠近所述定位杆一端连接有用于驱动所述导杆沿导轨移动的驱动机构A，所述驱动机构A与所述控制器电性连接。

作为优先的，上述适用于多种尺寸基片的圆心定位装置，在所述限位柱上靠近所述导杆一端以及端部限位板上分别设置有限位开关，所述限位开关分别与所述控制器电性连接。

作为优先的，上述适用于多种尺寸基片的圆心定位装置，所述驱动机构A为液压缸、气缸或者电动缸中的任意一种。

作为优先的，上述适用于多种尺寸基片的圆心定位装置，所述工作台上设置有导槽，所述限位板上设置有与所述导槽适配的滑块。