[实用新型]一种适用于多种尺寸基片的圆心定位装置有效
| 申请号: | 201922466720.8 | 申请日: | 2019-12-31 |
| 公开(公告)号: | CN211015011U | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
| 发明(设计)人: | 冀然 | 申请(专利权)人: | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 266109 山东省青岛市城阳区长城*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 适用于 多种 尺寸 圆心 定位 装置 | ||
1.一种适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,其特征在于,包括:工作台,所述工作台上表面设有导轨,与所述导轨滑动连接有导杆,所述导杆一端垂直连接有定位杆,所述定位杆上连接有把手,所述导杆另一端连接有用于定位基片的V字型的定位板,所述工作台上设有与所述导杆平行的限位板,所述限位板与工作台滑动连接可平行的向所述导杆移动,所述限位板靠近所述导杆一端垂直连接有多个限位柱,在所述限位板上自靠近所述定位板一端的限位柱向靠近所述把手一端的限位柱的长度尺寸逐渐递减。
2.根据权利要求1所述的适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,其特征在于:在所述导轨靠近所述定位杆一端设置有用于限定所述导杆运动行程的端部限位板。
3.根据权利要求1所述的适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,其特征在于:在所述限位柱上靠近所述导杆一端设置有磁体。
4.根据权利要求2所述的适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,其特征在于:所述圆心定位装置还包括控制器。
5.根据权利要求4所述的适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,其特征在于:与所述导杆靠近所述定位杆一端连接有用于驱动所述导杆沿导轨移动的驱动机构A,所述驱动机构A与所述控制器电性连接。
6.根据权利要求5所述的适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,其特征在于:在所述限位柱上靠近所述导杆一端以及端部限位板上分别设置有限位开关,所述限位开关分别与所述控制器电性连接。
7.根据权利要求5所述的适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,其特征在于:所述驱动机构A为液压缸、气缸或者电动缸中的任意一种。
8.根据权利要求4所述的适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,其特征在于:所述工作台上设置有导槽,所述限位板上设置有与所述导槽适配的滑块。
9.根据权利要求8所述的适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,其特征在于:与所述限位板连接有可驱动所述滑块沿导槽移动的驱动机构B,所述驱动机构B与控制器电性连接。
10.根据权利要求9所述的适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,其特征在于:所述驱动机构B为液压缸、气缸或者电动缸中的任意一种。
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