[实用新型]一种新型光刻膜尺寸检测设备

说明书

本实用新型公开了一种新型光刻膜尺寸检测设备，包括挡片和测量主尺，所述挡片安装在测量主尺的最右端，所述挡片和测量主尺通过螺丝固定连接，所述测量主尺最左端底部设置有左外测量爪，所述测量主尺靠近右端顶部设置有左内测量爪，通过在该光刻膜尺寸检测设备上的游标尺底部增加有一个精密调节装置，通过该新型的精密调节装置能够带动游标尺在测量主尺上进行滑动测量，且在使用该精密调节装置带动游标尺在测量主尺上进行测量滑动时能够进行微调操作，从而能够增加游标尺测量调节的精度，使得整个尺寸检测设备能够对尺寸的测量能够更加精细准确，同时也能够减小测量误差，从而使得整个尺寸检测设备能够更加符合检测光刻膜这种精密材料。

技术领域

本实用新型属于尺寸测量工具相关技术领域，具体涉及一种新型光刻膜尺寸检测设备。

背景技术

游标卡尺是一种测量长度、内外径、深度的量具，游标卡尺由主尺和附在主尺上能滑动的游标两部分构成，主尺一般以毫米为单位，而游标上则有10、20或50个分格，根据分格的不同，游标卡尺可分为十分度游标卡尺、二十分度游标卡尺、五十分度格游标卡尺等，游标为10分度的有9mm，20分度的有19mm，50分度的有49mm，游标卡尺的主尺和游标上有两副活动量爪，分别是内测量爪和外测量爪，内测量爪通常用来测量内径，外测量爪通常用来测量长度和外径，在形形色色的计量器具家族中，游标卡尺作为一种被广泛使用的高精度测量工具，它是刻线直尺的延伸和拓展。

现有的光刻膜尺寸检测设备技术存在以下问题：现有的光刻膜尺寸检测设备在对光刻膜进行宽度以及厚度尺寸进行检测时，因为光刻膜为精密材料且其质地不够坚硬，所以在测量主尺上滑动游标尺对光刻膜进行检测时，单靠手动滑动游标尺进行尺寸检测则容易造成滑动幅度过大，且滑动精度较差，从而会影响到对光刻膜尺寸测量的精度，导致测量尺寸会产生少许偏差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型光刻膜尺寸检测设备，以解决上述背景技术中提出的因为光刻膜为精密材料且其质地不够坚硬，所以在测量主尺上滑动游标尺对光刻膜进行检测时，单靠手动滑动游标尺进行尺寸检测则容易造成滑动幅度过大，从而会影响到对光刻膜尺寸测量的精度的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型光刻膜尺寸检测设备，包括挡片和测量主尺，所述挡片安装在测量主尺的最右端，所述挡片和测量主尺通过螺丝固定连接，所述测量主尺最左端底部设置有左外测量爪，所述测量主尺靠近右端顶部设置有左内测量爪，所述测量主尺靠左侧上下两端以及后端连接有游标尺，所述游标尺前端内部设置有滑动卡槽，所述游标尺通过滑动卡槽套接在测量主尺外部，所述游标尺最左侧上端连接有右内测量爪，所述游标尺最左侧下端连接有右外测量爪，所述右外测量爪右侧的游标尺底部设置有精密调节装置，所述精密调节装置上设置有开口向上的固定盒，所述固定盒通过粘接剂连接在游标尺的底部外壁上，所述测量主尺的底部外壁上设置有推动齿，所述固定盒靠近左侧的游标尺竖向内部设置有竖向开槽，所述固定盒靠下侧右端外壁内部设置有侧边开槽，所述侧边开槽内部设置有外漏三分之一的小调节齿轮，所述小调节齿轮左半段设置在固定盒的内部，所述小调节齿轮的左端连接有中调节齿轮，所述中调节齿轮左端连接有大调节齿轮，所述大调节齿轮顶部穿过竖向开槽并与推动齿相互齿合，所述小调节齿轮、中调节齿轮和大调节齿轮均与固定盒通过固定轴固定连接。

优选的，所述测量主尺靠近下侧前端外壁上设置有主尺刻度，所述游标尺靠近上侧前端外壁上设置有游标刻度。

优选的，所述游标尺上端外壁上设置有紧固螺钉，所述紧固螺钉最下端穿过滑动卡槽上端的游标尺外壁并与测量主尺顶部外壁接触。

优选的，所述右外测量爪和左外测量爪的厚度相同且底部保持平齐，所述右外测量爪的左端外壁能够完整的贴合在左外测量爪的右端外壁上。

优选的，所述大调节齿轮的面积大小是中调节齿轮面积大小的两倍，所述中调节齿轮的面积大小是小调节齿轮面积大小的两倍，所述小调节齿轮、中调节齿轮和大调节齿轮相互之间均相互齿合。