[实用新型]一种新型光刻膜尺寸检测设备

权利要求书

1.一种新型光刻膜尺寸检测设备，包括挡片（1）和测量主尺（2），其特征在于：所述挡片（1）安装在测量主尺（2）的最右端，所述挡片（1）和测量主尺（2）通过螺丝固定连接，所述测量主尺（2）最左端底部设置有左外测量爪（9），所述测量主尺（2）靠近右端顶部设置有左内测量爪（10），所述测量主尺（2）靠左侧上下两端以及后端连接有游标尺（4），所述游标尺（4）前端内部设置有滑动卡槽（5），所述游标尺（4）通过滑动卡槽（5）套接在测量主尺（2）外部，所述游标尺（4）最左侧上端连接有右内测量爪（11），所述游标尺（4）最左侧下端连接有右外测量爪（8），所述右外测量爪（8）右侧的游标尺（4）底部设置有精密调节装置（6），所述精密调节装置（6）上设置有开口向上的固定盒（19），所述固定盒（19）通过粘接剂连接在游标尺（4）的底部外壁上，所述测量主尺（2）的底部外壁上设置有推动齿（13），所述固定盒（19）靠近左侧的游标尺（4）竖向内部设置有竖向开槽（20），所述固定盒（19）靠下侧右端外壁内部设置有侧边开槽（14），所述侧边开槽（14）内部设置有外漏三分之一的小调节齿轮（15），所述小调节齿轮（15）左半段设置在固定盒（19）的内部，所述小调节齿轮（15）的左端连接有中调节齿轮（16），所述中调节齿轮（16）左端连接有大调节齿轮（17），所述大调节齿轮（17）顶部穿过竖向开槽（20）并与推动齿（13）相互齿合，所述小调节齿轮（15）、中调节齿轮（16）和大调节齿轮（17）均与固定盒（19）通过固定轴（18）固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种新型光刻膜尺寸检测设备，其特征在于：所述测量主尺（2）靠近下侧前端外壁上设置有主尺刻度（3），所述游标尺（4）靠近上侧前端外壁上设置有游标刻度（7）。

3.根据权利要求1所述的一种新型光刻膜尺寸检测设备，其特征在于：所述游标尺（4）上端外壁上设置有紧固螺钉（12），所述紧固螺钉（12）最下端穿过滑动卡槽（5）上端的游标尺（4）外壁并与测量主尺（2）顶部外壁接触。

4.根据权利要求1所述的一种新型光刻膜尺寸检测设备，其特征在于：所述右外测量爪（8）和左外测量爪（9）的厚度相同且底部保持平齐，所述右外测量爪（8）的左端外壁能够完整的贴合在左外测量爪（9）的右端外壁上。

5.根据权利要求1所述的一种新型光刻膜尺寸检测设备，其特征在于：所述大调节齿轮（17）的面积大小是中调节齿轮（16）面积大小的两倍，所述中调节齿轮（16）的面积大小是小调节齿轮（15）面积大小的两倍，所述小调节齿轮（15）、中调节齿轮（16）和大调节齿轮（17）相互之间均相互齿合。

6.根据权利要求1所述的一种新型光刻膜尺寸检测设备，其特征在于：所述滑动卡槽（5）上下两端和后端内壁以及测量主尺（2）上端和后端外壁均保持平滑状态，所述滑动卡槽（5）上端内壁与测量主尺（2）上端外壁贴合，所述滑动卡槽（5）下端内壁与测量主尺（2）底部外壁脱离且存在间隙。