[实用新型]大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具

说明书

本实用新型公开了一种大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具，包括对称设置在加工平台两侧的机架，所述机架上设有可升降移动的载重板，所述载重板的下端分别设有翻转夹持机构、辅助承重机构，所述辅助承重机构位于所述翻转夹持机构与加工平台之间。所述翻转夹持机构包括立板，所述立板上设有可转动的翻转板，所述翻转板的一侧设有用于夹紧溅射靶材的夹持组件。所述辅助承重机构包括与所述载重板转动连接的角板，所述角板的下端设有可套装在溅射靶材上的承重吊带，所述承重吊带用于防止溅射靶材在翻转中滑脱。本实用新型通过机械配合实现了溅射靶材的自动翻转，减轻了工人的劳动强度，而且避免了翻转导致的溅射靶材表面擦伤，提高了溅射靶材的成品质量。

技术领域

本实用新型涉及溅射靶材制造领域，尤其涉及一种大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具。

背景技术

磁控溅射镀膜是一种新型的物理气相镀膜方式，是用电子枪系统把电子发射并聚焦在被镀的材料上，使其被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离材料飞向基片淀积成膜，这种被镀的材料就叫溅射靶材。

溅射靶材在焊接、喷砂、清洗等加工过程中需要反复翻转以保证靶材正反面都能被加工到。一般是先将溅射靶材放置到加工平台上，待溅射靶材的一面加工好后，通过人工配合将溅射靶材翻转180度后重新放置到加工平台上以加工另一面。但对于大尺寸分割型溅射靶材来说，其尺寸、重量都比较大，人工翻转的劳动强度较大，而且目前人工翻转是以加工平台为支撑面的，在翻转过程中，溅射靶材的侧边容易磕碰到加工平台上，造成溅射靶材表面擦伤，影响成品质量。

实用新型内容

为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具，通过机械配合不仅实现了溅射靶材的自动翻转，减轻了工人的劳动强度，而且避免了翻转导致的溅射靶材表面擦伤，提高了溅射靶材的成品质量。

为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具，包括对称设置在加工平台两侧的机架，所述机架上设有可升降移动的载重板，所述载重板的下端分别设有翻转夹持机构、辅助承重机构，所述辅助承重机构位于所述翻转夹持机构与加工平台之间。所述翻转夹持机构包括与所述载重板固接的立板，所述立板上设有可转动的翻转板，所述翻转板靠近所述加工平台的一侧设有用于夹紧溅射靶材的夹持组件。所述辅助承重机构包括与所述载重板转动连接的角板，所述角板的下端设有可套装在溅射靶材上的承重吊带，所述承重吊带用于防止溅射靶材在翻转中滑脱。

将溅射靶材套设到位于加工平台两侧的承重吊带上，并使夹持组件夹紧溅射靶材的两端；当需要翻转溅射靶材时，驱动载重板向上移动到一定高度，翻转夹持机构、辅助承重机构随之上移，此时承重吊带与夹持组件共同承载溅射靶材的重量；驱动翻转板转动，此时夹紧组件带动溅射靶材随之转动，通过承重吊带可以辅助支撑溅射靶材的重量，防止溅射靶材在翻转时滑脱，减轻夹紧组件的支撑压力。

进一步来说，所述机架包括一对竖杆，所述竖杆的上端共同设有与之一体成型的横杆，所述竖杆的内侧均设有竖直方向的滑槽。所述承重板位于所述竖杆之间，其两侧分别设有可沿与之对应的所述滑槽移动的升降滑杆。所述承重板的上端与固接在所述横杆上的电缸连接。通过电缸实现了承重板的上下移动，通过滑槽与升降滑杆的配合限定了承重板的移动方向。

进一步来说，所述立板上穿设有与之固接的轴座，所述轴座内设有旋转轴。所述旋转轴的一端与固接在所述立板上的转动电机连接，另一端延伸出所述轴座并与所述翻转板固接。通过转动电机实现了旋转轴的转动，进而实现了翻转板的转动。

进一步来说，所述夹持组件包括上下分布的、配合使用的上夹板、下夹板，所述下夹板固接在所述翻转板上，所述上夹板滑动设置在所述翻转板上。所述上夹板的上端设有驱动其向所述下夹板方向移动的驱动件。通过驱动件实现了上夹板的移动，进而使得上夹板、下夹板之间的间距能适用不同厚度的溅射靶材。