[实用新型]大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具

权利要求书

1.一种大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具，其特征在于：包括对称设置在加工平台(1)两侧的机架(2)，所述机架(2)上设有可升降移动的载重板(3)，所述载重板(3)的下端分别设有翻转夹持机构(4)、辅助承重机构(5)，所述辅助承重机构(5)位于所述翻转夹持机构(4)与加工平台(1)之间；所述翻转夹持机构(4)包括与所述载重板(3)固接的立板(41)，所述立板(41)上设有可转动的翻转板(44)，所述翻转板(44)靠近所述加工平台(1)的一侧设有用于夹紧溅射靶材的夹持组件；所述辅助承重机构(5)包括与所述载重板(3)转动连接的角板(51)，所述角板(51)的下端设有可套装在溅射靶材上的承重吊带(52)，所述承重吊带(52)用于防止溅射靶材在翻转中滑脱。

2.根据权利要求1所述的翻转治具，其特征在于：所述机架(2)包括一对竖杆(21)，所述竖杆(21)的上端共同设有与之一体成型的横杆(22)，所述竖杆(21)的内侧均设有竖直方向的滑槽；所述载重板(3)位于所述竖杆(21)之间，其两侧分别设有可沿与之对应的所述滑槽移动的升降滑杆(31)；所述载重板(3)的上端与固接在所述横杆(22)上的电缸(32)连接。

3.根据权利要求1所述的翻转治具，其特征在于：所述立板(41)上穿设有与之固接的轴座(42)，所述轴座(42)内设有旋转轴；所述旋转轴的一端与固接在所述立板(41)上的转动电机(43)连接，另一端延伸出所述轴座(42)并与所述翻转板(44)固接。

4.根据权利要求1所述的翻转治具，其特征在于：所述夹持组件包括上下分布的、配合使用的上夹板(453)、下夹板(452)，所述下夹板(452)固接在所述翻转板(44)上，所述上夹板(453)滑动设置在所述翻转板(44)上；所述上夹板(453)的上端设有驱动其向所述下夹板(452)方向移动的驱动件。

5.根据权利要求4所述的翻转治具，其特征在于：所述翻转板(44)上设有可供所述上夹板(453)移动的竖直滑轨(451)；所述竖直滑轨(451)位于所述下夹板(452)的上方，其两端均设有限位挡块。

6.根据权利要求4所述的翻转治具，其特征在于：所述上夹板(453)、下夹板(452)上均设有用于夹紧溅射靶材的弹性夹条(454)。

7.根据权利要求2所述的翻转治具，其特征在于：所述竖杆(21)的下端设有刹车轮(211)。