[发明专利]防尘薄膜框架及防尘薄膜组件在审
申请号: | 201911192851.X | 申请日: | 2019-11-28 |
公开(公告)号: | CN111308855A | 公开(公告)日: | 2020-06-19 |
发明(设计)人: | 关原一敏 | 申请(专利权)人: | 信越化学工业株式会社 |
主分类号: | G03F1/64 | 分类号: | G03F1/64 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 防尘 薄膜 框架 组件 | ||
1.一种防尘薄膜框架,呈由四边构成的矩形框状,其特征在于:
至少一边的长度超过500mm;
于至少一对相对向的边中的各自的边中,所述边的中央的防尘薄膜框架的剖面积,较所述边的端部的防尘薄膜框架的剖面积更大。
2.根据权利要求1所述的防尘薄膜框架,其厚度为固定。
3.根据权利要求1或2所述的防尘薄膜框架,其中,
所述至少一对相对向的边中的各自的边的所述防尘薄膜框架的外缘的形状,为往外侧凸出的圆弧状、往外侧凸出的拋物线状、往外侧凸出的多角形、或将前述各形状组合成的形状。
4.根据权利要求1或2所述的防尘薄膜框架,其中,
所述至少一对相对向的边中的各自的边的所述防尘薄膜框架的内缘的形状,为直线状。
5.根据权利要求1或2所述的防尘薄膜框架,其中,
将防尘薄膜粘接至所述防尘薄膜框架的框状面而构成防尘薄膜组件时,所述至少一对相对向的边中的各自的边的所述防尘薄膜框架的外缘的形状,因所述防尘薄膜的张力而成为大致直线状。
6.一种防尘薄膜组件,其为使用根据权利要求1至5中任一项所述的防尘薄膜框架而构成的。
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