[发明专利]一种提高离子注入机晶元机械传输效率的方法

权利要求书

1.一种提高离子注入机晶圆机械传输的方法，包括：调度模块、机械手传输模块、运动模块、异常处理模块；机械手传输模块包括左机械手及右机械手，用于晶圆在不同部件间的传递；运动模块包括晶圆的装载部件、定位部件、工艺加工部件；异常处理模块用于在晶圆传输过程中异常情况的保护；其特征在于，所述方法包括：在机械手与转载部件、定位部件、工艺加工部件间进行取放片的时候，将机械手提前伸至目标部件的一个预取位置的安全距离，待目标部件完成本身动作后，直接将机械手伸至目标位置；预取片位置的设定以实际安全位置为准，且预取片位置与预放片位置为同一位置。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，任意步骤出现异常情况时，异常处理模块可以立即将当前动作终止，并不再下发后续命令，从而实现对系统的保护。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在机械手伸向目标部件进行取片时，可以将机械手提前伸至预取片位置。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，机械手是否提前伸至预取位置进行取片动作，可根据目标部件本身动作是否完成来进行执行；若已完成，机械手直接伸至目标部件，不执行预取动作；若未完成，机械手需要提前伸至预取位置，等待目标部件本身动作完成。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，机械手从定位部件取片时，在定位部件定向的同时，将机械手直接伸至定位部件下方，等待定位动作完成。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在机械手伸向目标部件进行放片时，可以将机械手提前伸至预放片位置。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，机械手是否提前伸至预放位置进行放片动作，可根据目标部件上是否有晶圆来进行执行；若无，机械手直接伸至目标部件，不执行预放动作；若有，机械手需要提前伸至预放位置，等待目标部件上的晶圆被取走。