[发明专利]一种功率器件质量等级分类方法

说明书

本发明提供了功率器件质量等级分类方法，提供功率器件；对功率器件进行热响应测试和电参数测试，计算得到变化量；确定标准值域和允许变化范围，判断热响应测试结果、电参数测试结果是否符合标准值域；判断变化量是否超出允许变化范围；建立质量等级分类标准，质量等级分类标准中包括质量等级，质量等级包括热响应测试的测试指标、电参数测试的测试指标、以及对应变化量的判定指标，且每一测试指标和判定指标均对应一个参考范围，每一参考范围对应一个分值；基于热响应测试结果、电参数测试结果和变化量所属的参考范围，赋予与其对应的分值；将热响应测试结果、电参数测试结果和变化量对应的分值加和，得到总分值；基于分值和总分值进行等级分类。

技术领域

本发明涉及功率器件筛分技术领域，特别是涉及一种功率器件质量等级分类方法。

背景技术

功率器件在进行正式应用前需要将批次中早期失效或质量不良品剔除，具体的剔除方法是，对功率器件进行各项电参数测试，将各项电参数测试结果与各项电参数测试标准进行比对，若各项电参数测试结果均符合测试标准，则判定为合格功率器件；若其中有一项电参数测试结果不符合测试标准，则判定为不合格功率器件，并将其从批次中剔除。

但是，当前各项电参数测试标准的范围相对较宽，如VDMOS(垂直双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管)的I_GSS(栅源漏电流)参数测试标准为0-100nA，而I_GSS＝5nA和I_GSS＝50nA的功率器件的质量等级以及使用寿命存在显著的差异，因此，亟待提出一种对功率器件进行质量等级分类的方法，以精细化划分功率器件。

发明内容

针对上述问题，本发明的目的是提供一种能够对功率器件进行精细化分类的功率器件质量等级分类方法。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：一种功率器件质量等级分类方法，包括以下步骤：

提供一批次功率器件；

在测试条件下，对功率器件进行热响应测试和电参数测试；基于电参数测试结果，计算得到变化量；

确定标准值域和允许变化范围，判断热响应测试结果、电参数测试结果是否符合标准值域；判断变化量是否超出允许变化范围；将符合标准值域和未超出允许变化范围的功率器件判定为合格功率器件；

建立质量等级分类标准，质量等级分类标准中包括至少两个质量等级，每一质量等级均包括用于表征热响应测试的测试指标，用于表征电参数测试的测试指标，以及对应变化量的判定指标，且每一测试指标和判定指标均对应一个参考范围，每一参考范围对应一个分值；

基于合格功率器件的热响应测试结果、电参数测试结果和变化量所属的参考范围，赋予与其对应的分值；

将每一合格功率器件的热响应测试结果、电参数测试结果和变化量对应的分值加和，得到总分值；

基于分值和总分值对合格功率器件进行等级分类。

优选地，热响应测试为温度应力后的热响应测试；电参数测试包括机械应力试验后的静态电参数测试、高温偏栅试验后的静态电参数测试、高温反偏试验后的静态电参数测试，以及依次进行完上述三个试验后的终点电参数测试。

优选地，变化量包括第一变化量和第二变化量，基于高温偏栅试验前后的静态电参数测试结果，计算得到第一变化量；基于高温反偏试验前后的静态电参数测试结果，计算得到第二变化量。

优选地，电参数测试的测试指标包括漏源击穿电压、静态漏源导通电阻、栅阈值电压、零栅压漏电流、栅源漏电流和二极管正向压降；电参数测试包括静态电参数测试和终点电参数测试。

优选地，第一变化量和第二变化量均包括漏源击穿电压、静态漏源导通电阻和栅阈值电压的变化量；零栅压漏电流的变化量；栅源漏电流的变化量。