[发明专利]一种功率器件质量等级分类方法

权利要求书

1.一种功率器件质量等级分类方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供一批次功率器件；

在测试条件下，对所述功率器件进行热响应测试和电参数测试；基于电参数测试结果，计算得到变化量；

确定标准值域和允许变化范围，判断热响应测试结果、电参数测试结果是否符合所述标准值域；判断所述变化量是否超出所述允许变化范围；将符合所述标准值域和未超出所述允许变化范围的所述功率器件判定为合格功率器件；

建立质量等级分类标准，所述质量等级分类标准中包括至少两个质量等级，每一所述质量等级均包括用于表征所述热响应测试的测试指标，用于表征所述电参数测试的测试指标，以及对应变化量的判定指标，且每一所述测试指标和所述判定指标均对应一个参考范围，每一所述参考范围对应一个分值；

基于所述合格功率器件的所述热响应测试结果、电参数测试结果和变化量所属的所述参考范围，赋予与其对应的所述分值；

将每一所述合格功率器件的所述热响应测试结果、电参数测试结果和变化量对应的所述分值加和，得到总分值；

基于所述分值和所述总分值对所述合格功率器件进行等级分类。

2.根据权利要求1所述的功率器件质量等级分类方法，其特征在于，

所述热响应测试为温度应力后的热响应测试；

所述电参数测试包括机械应力试验后的静态电参数测试、高温偏栅试验后的静态电参数测试、高温反偏试验后的静态电参数测试，以及依次进行完上述三个试验后的终点电参数测试。

3.根据权利要求2所述的功率器件质量等级分类方法，其特征在于：所述变化量包括第一变化量和第二变化量，基于高温偏栅试验前后的静态电参数测试结果，计算得到所述第一变化量；基于高温反偏试验前后的静态电参数测试结果，计算得到所述第二变化量。

4.根据权利要求3所述的功率器件质量等级分类方法，其特征在于，

电参数测试的测试指标包括漏源击穿电压、静态漏源导通电阻、栅阈值电压、零栅压漏电流、栅源漏电流和二极管正向压降；所述电参数测试包括所述静态电参数测试和所述终点电参数测试。

5.根据权利要求4所述的功率器件质量等级分类方法，其特征在于，所述第一变化量和所述第二变化量均包括所述漏源击穿电压、所述静态漏源导通电阻和所述栅阈值电压的变化量；

所述零栅压漏电流的变化量；

以及所述栅源漏电流的变化量。

6.根据权利要求1所述的功率器件质量等级分类方法，其特征在于，

所述质量等级为三个，由高至低分别为第一质量等级、第二质量等级和第三质量等级。

7.根据权利要求6所述的功率器件质量等级分类方法，其特征在于，

所述合格功率器件的所述热响应测试结果、静态电参数测试结果、终点电参数测试结果、第一变化量和第二变化量对应的所述分值均等于所述第一质量等级对应的所述分值时，所述合格功率器件属于所述第一质量等级；

所述总分值大于设定阈值时，所述合格功率器件属于所述第三质量等级；其他的所述合格功率器件属于第二质量等级。