[发明专利]一种提高LED管芯表面洁净度的方法有效
| 申请号: | 201910556507.8 | 申请日: | 2019-06-25 |
| 公开(公告)号: | CN112133796B | 公开(公告)日: | 2022-06-14 |
| 发明(设计)人: | 郑军;齐国健;闫宝华;王成新 | 申请(专利权)人: | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
| 代理公司: | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人: | 赵龙群 |
| 地址: | 261061 *** | 国省代码: | 山东;37 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 提高 led 管芯 表面 洁净 方法 | ||
1.一种提高LED管芯表面洁净度的方法,其特征在于,具体步骤包括:
(1)切割:将LED芯片切割成独立的管芯;
(2)初次高压清洗:对切割后的LED芯片进行初次高压清洗;
(3)扩膜:对初次高压清洗后的LED芯片进行扩膜;
(4)酸洗:将扩膜后的LED芯片浸入到酸洗试剂中进行清洗;
步骤(4)中,所述酸洗试剂包括冰醋酸和去离子水,所述酸洗试剂中冰醋酸与去离子水的体积比例为(1-4):(10-28);
(5)二次高压清洗:对酸洗后的LED芯片进行二次高压清洗;
(6)检验:对二次高压清洗后的LED芯片进行检验。
2.根据权利要求1所述的一种提高LED管芯表面洁净度的方法,其特征在于,所述酸洗试剂中冰醋酸与去离子水的体积比例为3:12。
3.根据权利要求1所述的一种提高LED管芯表面洁净度的方法,其特征在于,步骤(4)中,配置好的酸洗试剂温度控制在20-26℃。
4.根据权利要求1所述的一种提高LED管芯表面洁净度的方法,其特征在于,步骤(4)中,将LED芯片放入到所述酸洗试剂中晃动清洗25-35下,清洗时间为25-35s。
5.根据权利要求4所述的一种提高LED管芯表面洁净度的方法,其特征在于,LED芯片经过步骤(4)酸洗后,先使用去离子水晃动冲洗LED芯片背面4-6次,再使用去离子水冲洗LED芯片正面1-3min。
6.根据权利要求1所述的一种提高LED管芯表面洁净度的方法,其特征在于,步骤(5)中,采用清洗机对切割后的LED芯片进行二次高压清洗,再使用氮气吹干LED芯片,二次高压清洗的时间为40-60s,氮气吹干时间为30-50s,氮气供气压力为0.4-0.6Mpa。
7.根据权利要求1所述的一种提高LED管芯表面洁净度的方法,其特征在于,步骤(1)中,对LED芯片正面进行全透切割,通过横、竖两个方向的交叉切割LED芯片。
8.根据权利要求7所述的一种提高LED管芯表面洁净度的方法,其特征在于,步骤(1)中,在全透切割的过程中,切割刀与LED芯片之间的距离为40-110μm,初始进刀速度为2-5mm/s,切割速度为10-50mm/s,切割槽缝宽度为20-30μm。
9.根据权利要求1所述的一种提高LED管芯表面洁净度的方法,其特征在于,步骤(2)中,采用清洗机对切割后的LED芯片进行初次高压清洗,再使用氮气吹干LED芯片,初次高压清洗的时间为40-60s,氮气吹干时间为30-50s,氮气供气压力为0.4-0.6Mpa。
10.根据权利要求1-9任一所述的一种提高LED管芯表面洁净度的方法,其特征在于,步骤(3)中,先将LED芯片在加热盘上预热时间为5-10s,再进行扩膜,扩膜的温度为65-75℃,扩膜的时间为10-15s。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东浪潮华光光电子股份有限公司,未经山东浪潮华光光电子股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910556507.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。





