[发明专利]一种提高LED管芯表面洁净度的方法有效

专利信息
申请号: 201910556507.8 申请日: 2019-06-25
公开(公告)号: CN112133796B 公开(公告)日: 2022-06-14
发明(设计)人: 郑军;齐国健;闫宝华;王成新 申请(专利权)人: 山东浪潮华光光电子股份有限公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人: 赵龙群
地址: 261061 *** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 提高 led 管芯 表面 洁净 方法
【权利要求书】:

1.一种提高LED管芯表面洁净度的方法,其特征在于,具体步骤包括:

(1)切割:将LED芯片切割成独立的管芯;

(2)初次高压清洗:对切割后的LED芯片进行初次高压清洗;

(3)扩膜:对初次高压清洗后的LED芯片进行扩膜;

(4)酸洗:将扩膜后的LED芯片浸入到酸洗试剂中进行清洗;

步骤(4)中,所述酸洗试剂包括冰醋酸和去离子水,所述酸洗试剂中冰醋酸与去离子水的体积比例为(1-4):(10-28);

(5)二次高压清洗:对酸洗后的LED芯片进行二次高压清洗;

(6)检验:对二次高压清洗后的LED芯片进行检验。

2.根据权利要求1所述的一种提高LED管芯表面洁净度的方法,其特征在于,所述酸洗试剂中冰醋酸与去离子水的体积比例为3:12。

3.根据权利要求1所述的一种提高LED管芯表面洁净度的方法,其特征在于,步骤(4)中,配置好的酸洗试剂温度控制在20-26℃。

4.根据权利要求1所述的一种提高LED管芯表面洁净度的方法,其特征在于,步骤(4)中,将LED芯片放入到所述酸洗试剂中晃动清洗25-35下,清洗时间为25-35s。

5.根据权利要求4所述的一种提高LED管芯表面洁净度的方法,其特征在于,LED芯片经过步骤(4)酸洗后,先使用去离子水晃动冲洗LED芯片背面4-6次,再使用去离子水冲洗LED芯片正面1-3min。

6.根据权利要求1所述的一种提高LED管芯表面洁净度的方法,其特征在于,步骤(5)中,采用清洗机对切割后的LED芯片进行二次高压清洗,再使用氮气吹干LED芯片,二次高压清洗的时间为40-60s,氮气吹干时间为30-50s,氮气供气压力为0.4-0.6Mpa。

7.根据权利要求1所述的一种提高LED管芯表面洁净度的方法,其特征在于,步骤(1)中,对LED芯片正面进行全透切割,通过横、竖两个方向的交叉切割LED芯片。

8.根据权利要求7所述的一种提高LED管芯表面洁净度的方法,其特征在于,步骤(1)中,在全透切割的过程中,切割刀与LED芯片之间的距离为40-110μm,初始进刀速度为2-5mm/s,切割速度为10-50mm/s,切割槽缝宽度为20-30μm。

9.根据权利要求1所述的一种提高LED管芯表面洁净度的方法,其特征在于,步骤(2)中,采用清洗机对切割后的LED芯片进行初次高压清洗,再使用氮气吹干LED芯片,初次高压清洗的时间为40-60s,氮气吹干时间为30-50s,氮气供气压力为0.4-0.6Mpa。

10.根据权利要求1-9任一所述的一种提高LED管芯表面洁净度的方法,其特征在于,步骤(3)中,先将LED芯片在加热盘上预热时间为5-10s,再进行扩膜,扩膜的温度为65-75℃,扩膜的时间为10-15s。

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