[发明专利]脉冲激光的脉冲功率测量方法

说明书

一种脉冲激光的脉冲功率测量方法，包括：将n个第一激光束，照射到反射介质表面以产生漫反射光；采用第一光电转化器件，接收部分漫反射光以产生第一电信号；根据n个第一激光束对应的n个已知低脉冲功率和n个第一电信号，得到激光脉冲功率与第一电信号的特性曲线，作为第一特性曲线；将待测量激光束，照射到反射介质表面以产生第一测量反射光；采用第一光电转化器件，接收部分第一测量反射光以产生第一测量电信号；根据第一特性曲线和第一测量电信号，计算得到待测量激光束的第一测量脉冲功率。所述脉冲激光的脉冲功率测量方法能够低成本、便捷、快速和准确地测量相应的脉冲功率。

技术领域

本发明涉及光学领域，尤其涉及一种脉冲激光的脉冲功率测量方法。

背景技术

现有测量激光输出功率的方式，通常需要采用专用的高成本测量设备，并且，通常所要测量的功率越高，所需要的仪器成本越高。因此，很多情况下，人们在使用相应激光时，手头经常并没有相应的高昂测量仪器，无法及时快捷地对相应的激光进行测量。

公开号为CN105222889A的中国专利申请，公开一种强激光功率密度的测量装置，它依次包括激光器、聚焦透镜和真空腔，真空腔设有进气管和真空泵，进气管连接有储气瓶和喷嘴，喷嘴具有极性分子喷流，真空腔连接有软X射线摄像头，所述真空腔设有进光窗口和铝膜，所述进光窗口与铝膜相对，且所述进光窗口与聚焦透镜相邻，所述铝膜与软X射线摄像头相邻。这样的装置正如前面所述，这样的测量装置通常制造复杂，成本高昂。

公开号为CN105181131A的中国专利申请，公开一种激光功率测量方法，它通过将激光打在及稀土掺杂纳米材料上，来产生荧光，然后测定荧光，来反映和计算激光功率。然而，这种方式需要手边有相应的特定稀土掺杂纳米材料，即需要有能够产生荧光的稀土掺杂纳米材料，通常同样无法方便地解决人们对激光脉冲功率的测量需求。

对于脉冲激光，特别是脉冲功率在2W以上的脉冲激光，如何进行成本低且准确度有保证的测量，成为业界的需求。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种脉冲激光的脉冲功率测量方法，以更方便快捷地测量脉冲激光的脉冲功率。

为解决上述问题，本发明提供一种脉冲激光的脉冲功率测量方法，包括：提供n个第一激光束，每个所述第一激光束具有一个已知的低脉冲功率，不同所述第一激光束的所述低脉冲功率不同，n为2以上的整数；将n个所述第一激光束，从第一入射位置，照射到反射介质表面以产生漫反射光；采用第一光电转化器件，在第一反射位置，接收部分所述漫反射光以产生第一电信号；根据n个所述第一激光束对应的n个所述已知低脉冲功率和n个所述第一电信号，得到激光脉冲功率与所述第一电信号的特性曲线，作为第一特性曲线；将待测量激光束，从所述第一入射位置，照射到所述反射介质表面以产生第一测量反射光；采用所述第一光电转化器件，在所述第一反射位置，接收部分所述第一测量反射光以产生第一测量电信号；根据所述第一特性曲线和所述第一测量电信号，计算得到所述待测量激光束的第一测量脉冲功率；采用第二光电转化器件，在第二反射位置，接收部分所述漫反射光以产生第二电信号；根据n个所述第一激光束对应的n个所述已知低脉冲功率和n个所述第二电信号，得到激光脉冲功率与所述第二电信号的特性曲线，作为第二特性曲线；根据所述第二特性曲线和所述第二电信号，计算得到所述待测量激光束的第二测量脉冲功率；获取所述第一测量脉冲功率和所述第二测量脉冲功率的平均值。

可选的，所述低脉冲功率在1.6W以下，所述待测量激光束的脉冲功率在2.0W以上20W以下。

可选的，所述第一光电转化器件为硅光电二极管。

可选的，所述硅光电二极管的感光面与所述漫反射光的夹角为锐角。

可选的，将所述第一光电转化器件的输出连接至放大电路，对所述第一电信号进行放大。

可选的，所述待测量激光束的脉冲频率在1kHz以上，所述第一光电转化器件的响应频率在1kHz以上。