[发明专利]脉冲激光的脉冲功率测量方法

权利要求书

1.一种脉冲激光的脉冲功率测量方法，其特征在于，包括：

提供n个第一激光束，每个所述第一激光束具有一个已知的低脉冲功率，不同所述第一激光束的所述低脉冲功率不同，n为2以上的整数；

将n个所述第一激光束，从第一入射位置，照射到反射介质表面以产生漫反射光；

采用第一光电转化器件，在第一反射位置，接收部分所述漫反射光以产生第一电信号；

根据n个所述第一激光束对应的n个所述已知低脉冲功率和n个所述第一电信号，得到激光脉冲功率与所述第一电信号的特性曲线，作为第一特性曲线；

将待测量激光束，从所述第一入射位置，照射到所述反射介质表面以产生第一测量反射光；

采用所述第一光电转化器件，在所述第一反射位置，接收部分所述第一测量反射光以产生第一测量电信号；

根据所述第一特性曲线和所述第一测量电信号，计算得到所述待测量激光束的第一测量脉冲功率；

采用第二光电转化器件，在第二反射位置，接收部分所述漫反射光以产生第二电信号；

根据n个所述第一激光束对应的n个所述已知低脉冲功率和n个所述第二电信号，得到激光脉冲功率与所述第二电信号的特性曲线，作为第二特性曲线；

根据所述第二特性曲线和所述第二电信号，计算得到所述待测量激光束的第二测量脉冲功率；

获取所述第一测量脉冲功率和所述第二测量脉冲功率的平均值。

2.如权利要求1所述的脉冲激光的脉冲功率测量方法，其特征在于，所述低脉冲功率在1.6W以下，所述待测量激光束的脉冲功率在2.0W以上20W以下。

3.如权利要求1所述的脉冲激光的脉冲功率测量方法，其特征在于，所述第一光电转化器件为硅光电二极管。

4.如权利要求3所述的脉冲激光的脉冲功率测量方法，其特征在于，所述硅光电二极管的感光面与所述漫反射光的夹角为锐角。

5.如权利要求1所述的脉冲激光的脉冲功率测量方法，其特征在于，将所述第一光电转化器件的输出连接至放大电路，对所述第一电信号进行放大。

6.如权利要求1所述的脉冲激光的脉冲功率测量方法，其特征在于，所述待测量激光束的脉冲频率在1kHz以上，所述第一光电转化器件的响应频率在1kHz以上。

7.如权利要求1所述的脉冲激光的脉冲功率测量方法，其特征在于，所述第二光电转化器件为硅光电二极管；所述硅光电二极管的感光面与所述漫反射光的夹角为锐角。

8.如权利要求1所述的脉冲激光的脉冲功率测量方法，其特征在于，将所述第二光电转化器件的输出连接至放大电路，对所述第二电信号进行放大。

9.如权利要求1所述的脉冲激光的脉冲功率测量方法，其特征在于，所述反射介质的材料为铜、铁或铝。