[发明专利]错误检测分类在审
申请号: | 201880064838.3 | 申请日: | 2018-09-21 |
公开(公告)号: | CN111183510A | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | D·坎特维尔 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/67 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 侯颖媖;张鑫 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 错误 检测 分类 | ||
1.一种对时间序列数据中的异常值进行分类的方法,所述时间序列数据由定位在基板处理系统中的传感器来收集,所述方法包括:
从定位在所述基板处理腔室中的所述传感器接收时间序列数据;
将所述时间序列数据转换成有界均匀信号;
识别不匹配预期行为的信号子分段;以及
对不匹配所述预期行为的经识别的所述子分段进行分类。
2.如权利要求1所述的方法,进一步包括:
对先前无法分类的所述经识别的子分段进行分类。
3.如权利要求1所述的方法,其中将所述时间序列数据转换成有界均匀信号包括:
从自所述传感器接收到的所述时间序列数据移除所有异常值;
生成不具有所述异常值的时间序列数据的矩阵;以及
使用不具有所述异常值的时间序列数据的所述矩阵以变换所述时间序列数据。
4.如权利要求1所述的方法,其中识别不匹配所述预期行为的信号子分段包括:
生成限定所述有界均匀信号的包封内的训练集数据;
将所述时间序列数据分成多个子分段;以及
计算所述子分段的准平均与所述包封的准平均之间的距离。
5.如权利要求1所述的方法,其中对不匹配预期行为的经识别的所述子分段进行分类包括:
生成对应第一样本类别的节点;
生成绕着所述节点的超立方;以及
生成环绕所述超立方的超球面。
6.如权利要求5所述的方法,进一步包括:
响应于确定所述子分段落于所述超立方中,对所述第一样本类别中的所述子分段进行分类。
7.如权利要求5所述的方法,进一步包括:
响应于确定所述子分段没有落于所述超立方中,确定所述子分段是否落于所述超球面中;以及
响应于确定所述子分段落于所述超球面中,对所述第一样本类别中的所述子分段进行分类。
8.一种系统,包括:
处理器;以及
存储器,所述存储器具有存储于所述存储器上的指令,所述指令在由所述处理器执行时,执行用于对时间序列数据中的异常值进行分类的操作,所述时间序列数据由定位在基板处理系统中的传感器来收集,所述操作包括:
从定位在所述基板处理腔室中的所述传感器接收时间序列数据;
将所述时间序列数据转换成有界均匀信号;
识别不匹配预期行为的信号子分段;以及
对不匹配所述预期行为的经识别的所述子分段进行分类。
9.如权利要求8所述的系统,进一步包括:
对先前无法分类的所述经识别的子分段进行分类。
10.如权利要求8所述的系统,其中将所述时间序列数据转换成有界均匀信号包括:
从自所述传感器接收到的所述时间序列数据移除所有异常值;
生成不具有所述异常值的时间序列数据的矩阵;以及
使用不具有所述异常值的时间序列数据的所述矩阵以变换所述时间序列数据。
11.如权利要求8所述的系统,其中识别不匹配所述预期行为的信号子分段包括:
生成限定所述有界均匀信号的包封内的训练集数据;
将所述时间序列数据分成多个子分段;以及
计算所述子分段的准平均与所述包封的准平均之间的距离。
12.如权利要求8所述的系统,其中对不匹配预期行为的经识别的所述子分段进行分类包括:
生成对应第一样本类别的节点;
生成绕着所述节点的超立方;以及
生成环绕所述超立方的超球面。
13.如权利要求12所述的系统,进一步包括:
响应于确定所述子分段落于所述超立方中,对所述第一样本类别中的所述子分段进行分类。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造