[发明专利]一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法及装置

说明书

本发明公开了一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法及装置，将放置磨针单元的底座设计成抽屉式柱状体，抽屉式柱状体最外圈除了正前方那面，其余三面用铁板固定起来，垂直于底座，在铁板中间用隔板将中间区域等分出来，用于放置磨针单元，在底座上用一个可旋转的铁棒来固定所有磨针单元；本发明提供的一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法及装置，通过对探针台放置cleaning unit的底座结构进行改造，做成抽屉式柱状体，来达到可以存放多个cleaning unit的目的，多个cleaning unit上可以放置不同的砂纸类型，方便随时更换进行实验对比。

技术领域

本发明涉及集成电路在晶圆测试技术领域，尤其涉及一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法及装置。

背景技术

集成电路在晶圆测试阶段，必需要用到探针台和探针卡来进行测试，探针卡在不断的测试过程中，会沾上铝屑或是一些其他的垃圾，此时需要磨针处理，去掉针尖上的杂物，使针卡针尖保持稳定状态。

在一片晶园测试过程中，磨针是比较频繁的动作，因此消耗砂纸也是比较快的，经常4～5天就可能需要更换砂纸，更换砂纸要求精度较高，需要找设备相关人员进行更换。

现有技术一：一个cleaning unit只能放置一张砂纸；

目前cleaning unit上只能放置一张砂纸，如果砂纸用完后，需要将砂纸撕下，重新粘贴一张新的砂纸，粘贴新的砂纸非常费时，需要慢慢的将砂纸贴平。

现有技术二：更换需要专业人士进行操作；

因为探针卡需要的精度非常高，整个平面要保持一致，要确保更换的砂纸不会导致探针卡损坏，所以更换砂纸的动作需要专业的设备人员进行更换，节假日期间无法第一时间更换，影响生产效率。

本发明通过改造探针台里的放置cleaning unit的构造，使得更换砂纸更方便，并且能存放不同类型的砂纸进行实验，降低了操作难度，无需专业人士也能更换。

砂纸：用于打磨探针卡针尖的设备。

探针卡：晶圆测试中被测芯片和测试机之间的接口。

探针台：晶圆测试中完成自动移动晶圆的设备，并和测试机、工作站相连组成一套测试系统。

Cleaning unit：放置在探针台里的磨针单元，表面粘贴砂纸。

发明内容

本发明为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法，其中，具体技术方案为：

将放置磨针单元的底座设计成抽屉式柱状体，抽屉式柱状体最外圈除了正前方那面，其余三面用铁板固定起来，垂直于底座，在铁板中间用隔板将中间区域等分出来，用于放置磨针单元，在底座上用一个可旋转的铁棒来固定所有磨针单元，当要更换磨针单元时，将铁棒转到下方，这样就可以抽出磨针单元，将最上方的磨针单元替换掉，然后再将铁棒转到上方固定所有磨针单元，更换完成后，用探针台自带的校验功能重新调整整个磨针单元的高度，即可继续测试。

上述的一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法，其中：当需要更换磨针单元时，将旋转固定棒转到下方，此时就可以通过磨针单元上的把手将磨针单元抽出，替换最上层的磨针单元，将原来的磨针单元交给设备人员，等待重新粘贴好砂纸再放入到探针台里以备下次用，替换的磨针单元可以选择同类型的砂纸，也可以选择不同类型的砂纸，来实验磨针的效果；当磨针单元替换好后，再将旋转固定棒转回到12点钟方向，即可固定住所有的磨针单元，然后再通过探针台自带的检验高度方式重新调整整个磨针单元高度，即可继续量产。