[发明专利]一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法及装置有效

专利信息
申请号: 201811472063.1 申请日: 2018-12-04
公开(公告)号: CN109848798B 公开(公告)日: 2021-05-11
发明(设计)人: 王玉龙;王华;凌俭波;马健;王锦;叶建明 申请(专利权)人: 上海华岭集成电路技术股份有限公司
主分类号: B24B19/14 分类号: B24B19/14;B24B41/04;G01R1/067;G01R31/28
代理公司: 上海海贝律师事务所 31301 代理人: 范海燕
地址: 201203 上海市浦东新区中国(*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 提高 测试 探针 台上 保护 效率 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法,其特征在于:将放置磨针单元的底座设计成抽屉式柱状体,抽屉式柱状体最外圈除了正前方那面,其余三面用铁板固定起来,垂直于底座,在铁板中间用隔板将中间区域等分出来,用于放置磨针单元,在底座上用一个可旋转的铁棒来固定所有磨针单元,当要更换磨针单元时,将铁棒转到下方,这样就可以抽出磨针单元,将最上方的磨针单元替换掉,然后再将铁棒转到上方固定所有磨针单元,更换完成后,用探针台自带的校验功能重新调整整个磨针单元的高度,即可继续测试。

2.如权利要求1所述的一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法,其特征在于:当需要更换磨针单元时,将可旋转的铁棒转到下方,此时就可以通过磨针单元上的把手将磨针单元抽出,替换最上层的磨针单元,将原来的磨针单元交给设备人员,等待重新粘贴好砂纸再放入到探针台里以备下次用,替换的磨针单元选择同类型的砂纸,或者选择不同类型的砂纸,来实验磨针的效果;当磨针单元替换好后,再将可旋转的铁棒转回到12点钟方向,即可固定住所有的磨针单元,然后再通过探针台自带的检验高度方式重新调整整个磨针单元高度,即可继续量产。

3.一种如权利要求1-2中任一项所述的提高在测试探针台上对探针保护效率的方法中应用的装置,其特征在于:抽屉式柱状体设置4层结构,用3块隔板隔开,底座和3块隔板上各放置了一个磨针单元,每个磨针单元上有一张砂纸,不同颜色代表不同的砂纸类型,每个磨针单元前方有个小把手,用于抽出磨针单元,在底座上固定了一个可旋转的铁棒,当需要更换磨针单元时将铁棒转到下方,抽出磨针单元,替换掉最上层的磨针单元,然后将铁棒转到上方来固定所有磨针单元。

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