[发明专利]具有强化的RF功率传输的陶瓷加热器

权利要求书

1.一种基板支撑组件，包含：

基板支撑件；

心轴，所述心轴连接至所述基板支撑件；

射频电极，嵌入至所述基板支撑件；

短轴，连接至所述射频电极；

柔性电缆；

第一杆，所述第一杆设置于所述心轴内，所述第一杆具有第一端和第二端，所述第一端通过铜焊材料连接至所述短轴，并且所述第二端与所述柔性电缆接触，其中所述第一杆由钛或由涂覆有金、银、铝或铜的镍制成；以及

第二杆，所述第二杆具有与所述柔性电缆接触的第三端。

2.如权利要求1所述的基板支撑组件，其中所述第一杆是实心杆。

3.如权利要求1所述的基板支撑组件，其中所述第一杆是空心杆。

4.如权利要求1所述的基板支撑组件，进一步包含：

加热元件，所述加热元件嵌入所述基板支撑件中；

第一连接器，所述第一连接器连接至所述加热元件；以及

第二连接器，所述第二连接器连接至所述加热元件。

5.如权利要求4所述的基板支撑组件，进一步包含第一电容器和第二电容器，所述第一电容器将所述第一连接器和所述第一杆连接，所述第二电容器将所述第二连接器和所述第一杆连接。