[实用新型]一种具有液位传感装置的金刚线切割硅片机用浆料罐

权利要求书

1.一种具有液位传感装置的金刚线切割硅片机用浆料罐，其特征在于：包括浆料罐、转轴、搅拌桨、电机和液位传感器，所述转轴竖直贯穿所述浆料罐下端设置，所述搅拌桨设置在所述转轴上位于所述浆料罐内的部分，所述电机设置在所述浆料罐的下端，所述电机的输出轴通过轴承与所述转轴连接，所述液位传感器设置在所述浆料罐的内部上端；所述浆料罐的上端侧壁设置有纯水进口和切割液进口，所述浆料罐的下端侧壁设置有出料口。

2.根据权利要求1所述的具有液位传感装置的金刚线切割硅片机用浆料罐，其特征在于：所述纯水进口处设置有第一流量计，所述切割液进口处设置有第二流量计。

3.根据权利要求2所述的具有液位传感装置的金刚线切割硅片机用浆料罐，其特征在于：所述纯水进口处还设置有进水阀，所述切割液进口处设置有进料阀。

4.根据权利要求3所述的具有液位传感装置的金刚线切割硅片机用浆料罐，其特征在于：所述出料口处设置有出料阀，所述出料阀连通有增压泵。

5.根据权利要求4所述的具有液位传感装置的金刚线切割硅片机用浆料罐，其特征在于：所述浆料罐上端设置有封头，所述封头上端设置有液位表，所述液位表的信号输入端通过电路与所述液位传感器的信号输出端连接。

6.根据权利要求5所述的具有液位传感装置的金刚线切割硅片机用浆料罐，其特征在于：所述浆料罐的下端还设置有安全泄压阀，所述安全泄压阀通过管路连通有卸料桶。

7.根据权利要求6所述的具有液位传感装置的金刚线切割硅片机用浆料罐，其特征在于：所述浆料罐的下端固接有支撑架。