[实用新型]一种多尺寸硅片片盒悬挂器有效

专利信息
申请号: 201721032085.7 申请日: 2017-08-17
公开(公告)号: CN207233707U 公开(公告)日: 2018-04-13
发明(设计)人: 赵文龙;孟娟峰 申请(专利权)人: 麦斯克电子材料有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/673
代理公司: 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)41120 代理人: 狄干强
地址: 471000 河南省洛阳*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 尺寸 硅片 悬挂
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及到单晶硅片的生产领域,具体的说是一种多尺寸硅片片盒悬挂器。

背景技术

现用的片盒悬挂器,悬挂不同尺寸的片盒(如4、5、6、8英寸硅片的片盒),必须选择不同的片盒悬挂器,各尺寸硅片片盒对应的悬挂器不通用。在生产中更换片盒,必须更换对应尺寸的片盒悬挂器,所以生产中需备不同尺寸的悬挂器,且一般片盒悬挂器由悬挂臂、悬挂臂下的片盒架组成,体积大、费材料,且因一般由塑料组成,尺寸大容易损坏,所以导致了生产成本的增加。

实用新型内容

为解决现有的片盒悬挂器不能通用的问题,本实用新型提供了一种多尺寸硅片片盒悬挂器,该悬挂器能够兼容多种尺寸的硅片片盒,从而降低了生产的成本。

本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案为:一种多尺寸硅片片盒悬挂器,包括吊杆和两个卡头,其中,吊杆的上部设置有悬挂钩,底部设置有挂板,挂板上设置有若干组卡槽,每组卡槽由两条贯穿挂板厚度方向的切槽组成,所述两个卡头为对称结构,且每个卡头包括一基板和对称设置在该基板两侧的两条侧板,两条侧板之间设置有两条隔板,且每条侧板与其相邻的隔板间形成条形槽,以使硅片片盒的U面通过该面两侧的卡条与两条条形槽配合卡在卡头上;卡头与挂板上的切槽相配合以固定在挂板上,挂板上不同组卡槽的两条切槽间距离不同,以使两个卡头卡在同组卡槽的两条切槽内时,两个卡头间的间距对应不同尺寸硅片片盒的宽度。

本实用新型中,所述挂板的中部与吊杆的底部固定连接,挂板上设置的卡槽为三组,组成三组卡槽的六条切槽对称分布在吊杆的两侧,且从挂板的侧边向中部方向,三组卡槽依次为六英寸片盒卡槽、五英寸片盒卡槽和四英寸片盒卡槽,以使两个卡头分别卡在六英寸片盒卡槽、五英寸片盒卡槽或四英寸片盒卡槽的两条切槽内时,两个卡头的间距分别对应六英寸硅片片盒、五英寸硅片片盒或四英寸硅片片盒的长度。

本实用新型中,所述卡头的基板上设置有与挂板上的切槽相配合的固定槽或固定凸起,且固定槽或固定凸起位于两条隔板之间。

本实用新型中,所述卡头上隔板的高度大于侧板的高度,且隔板和侧板的两端均与基板的两侧边平齐;两条隔板间的宽度与挂板的厚度相同,以使卡头卡在挂板上后,两条隔板分别贴合卡住挂板的两侧面,从而限定并卡紧挂板,防止片盒的倾斜。

有益效果:本实用新型通过在挂板上不同位置设置若干组卡槽,每组卡槽由两条切槽组成,且不同组卡槽中两条切槽的间距分别对应不同尺寸规格的硅片片盒,然后通过在切槽内设置卡头,并将硅片片盒卡在卡头上,即可实现同一条挂板上悬挂不同尺寸规格的硅片片盒,降低了生产的成本。

附图说明

图1为本实用新型吊杆和挂板的结构示意图;

图2为本实用新型卡头的结构示意图;

附图标记:1、吊杆,101、悬挂钩,2、挂板,201、六英寸片盒卡槽,202、五英寸片盒卡槽,203、四英寸片盒卡槽,3、卡头,301、固定槽,302、隔板,303、侧板,304、条形槽。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的以及有益效果易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。

如图所示,一种多尺寸硅片片盒悬挂器,包括吊杆1和两个卡头3,其中,吊杆1的上部设置有悬挂钩101,底部设置有挂板2,挂板2上设置有若干组卡槽,每组卡槽由两条贯穿挂板2厚度方向的切槽组成,所述两个卡头3为对称结构,且每个卡头3包括一基板和对称设置在该基板两侧的两条侧板303,两条侧板303之间设置有两条隔板302,且每条侧板303与其相邻的隔板302间形成条形槽304,以使硅片片盒的U面通过该面两侧的卡条与两条条形槽304配合卡在卡头3上;卡头3与挂板2上的切槽相配合以固定在挂板2上,挂板2上不同组卡槽的两条切槽间距离不同,以使两个卡头3卡在同组卡槽的两条切槽内时,两个卡头3间的间距对应不同尺寸硅片片盒的长度。

以上为本实用新型的基本实施方式,可在以上基础上做进一步的改进、优化和限定:

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