[发明专利]高功率激光二极管测试系统和制造方法

说明书

公开了一种高功率激光二极管测试系统，其包括：在其中限定至少一个装置测试模块隔室的外壳本体；定位在装置测试模块隔室内的功率供应、系统控制器和热控制系统；装置测试模块，其具有形成在其中的至少一个承载器装置接收器，装置测试模块可分离地联接到外壳本体；以及至少一个承载器装置，其构造成支承联接至其上的至少一个激光二极管装置，承载器装置可分离地定位在形成于装置测试模块上的承载器装置端口内。

相关申请的交叉引用

本申请要求2015年10月31日提交的题为“高功率激光二极管测试系统和制造方法”的美国临时专利申请No.62/249,188的优先权，其全部内容通过引用而结合到本文中。

背景技术

半导体激光二极管目前在日益增加的数量的应用中被使用。典型地，它们的小尺寸、相对高的功率、使用寿命和装置成本提供了优于备选激光源的若干优点。通常，在制造过程期间，激光二极管装置经历“超负荷测试”过程，在该过程中，激光二极管装置经历不同级别的电流和/或温度梯度，以表征半导体激光二极管的光学特性。

目前，存在许多可用的激光二极管超负荷测试架或系统。虽然现有技术的超负荷测试架已被证明有用，但是已确认了许多缺点。例如，激光二极管的精确定位以及对受测试的激光二极管的温度的控制已被证明存在问题。照这样，激光二极管的精确表征一直是困难的。

鉴于上述内容，一直需要能够快速且准确地表征多个激光二极管的激光二极管测试系统。

发明内容

本申请涉及一种高功率激光二极管测试系统，其在表征一个或多个激光二极管装置的性能方面有用。在一个实施例中，本申请公开了高功率激光二极管测试系统并包括在其中限定至少一个装置测试模块隔室的外壳本体。功率供应构造成对可定位在外壳本体内的一个或多个构件、装置测试模块、控制器等提供功率。系统控制器和热控制系统也可定位在外壳本体内。至少一个互连系统将系统控制器和热控制系统可操作地联接至功率供应。至少一个装置测试模块可定位于外壳本体中形成的装置测试模块隔室内并经由互连系统联接至功率供应、系统控制器和热控制系统中的至少一个。装置测试模块包括在其中形成的至少一个承载器装置接收器。构造成支承联接至其上的至少一个激光二极管装置的至少一个承载器装置可被插入在装置测试模块上形成的承载器装置端口中。承载器装置经由装置测试模块与功率供应、系统控制器和热控制系统中的至少一个连通。

在另一实施例中，本申请涉及用于在高功率激光二极管测试系统内使用的装置测试模块。装置测试模块包括至少一个装置测试模块面板，该装置测试模块面板构造成联接至高功率激光二极管测试系统。至少一个承载器装置端口形成在装置测试模块面板上。装置测试模块进一步包括至少一个下部组件，该下部组件联接至至少一个装置测试模块面板。下部组件包括夹持底板、夹持对准本体和定位在夹持底板和夹持对准本体之间的至少一个流体囊。流体囊与至少一个囊充气系统连通使得流体囊可选择性地被充气。照这样，囊充气系统与联接至高功率激光二极管测试系统的至少一个功率供应连通。装置测试模块进一步包括联接至装置测试模块面板的至少一个上部组件，并可接近下部组件而定位。上部组件包括在其上的至少一个热控制电路和至少一个电连接系统。下部组件和上部组件协作地形成至少一个承载器装置接收器，该承载器装置接收器构造成在其中接收承载器装置。最后，装置测试模块包括至少一个承载器装置，该承载器装置构造成使至少一个激光二极管联接至其上。激光二极管可被可分离地联接至位于上部组件上的电连接系统。