[发明专利]高功率激光二极管测试系统和制造方法有效
| 申请号: | 201680064049.0 | 申请日: | 2016-10-29 |
| 公开(公告)号: | CN110023772B | 公开(公告)日: | 2021-06-18 |
| 发明(设计)人: | J.卡里;C.钱德勒;W.沃茨;N.哈里奥特 | 申请(专利权)人: | 纽波特公司 |
| 主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26;G01R1/04 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 杨忠;李建新 |
| 地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 功率 激光二极管 测试 系统 制造 方法 | ||
1.一种高功率激光二极管测试系统,包括:
至少一个外壳本体,其限定形成在所述至少一个外壳本体内的至少一个装置测试模块隔室;
至少一个功率供应,其定位在所述至少一个装置测试模块隔室内;
至少一个互连系统,其定位在所述至少一个装置测试模块隔室内,所述互连系统与所述至少一个功率供应连通;
至少一个系统控制器,其定位在所述至少一个装置测试模块隔室内,所述系统控制器经由所述至少一个互连系统与所述至少一个功率供应连通;
在所述至少一个装置测试模块隔室内的至少一个热控制系统,所述热控制系统经由所述至少一个互连系统与所述至少一个功率供应和所述至少一个系统控制器中的至少一个连通;
至少一个装置测试模块,其构造成定位在所述至少一个装置测试模块隔室内并经由所述至少一个互连系统与所述至少一个功率供应、所述至少一个系统控制器和所述至少一个热控制系统中的至少一个连通,所述至少一个装置模块在其中限定有至少一个承载器装置端口;以及
至少一个承载器装置,其构造成支承可分离地联接在其上的至少一个激光二极管装置,所述至少一个承载器装置经由所述至少一个装置测试模块与所述至少一个功率供应、所述至少一个系统控制器和所述至少一个热控制系统中的至少一个连通;
所述装置测试模块进一步包括:
至少一个下部组件,其具有至少一个夹持底板、至少一个夹持对准本体和定位在所述至少一个夹持底板和所述至少一个夹持对准本体之间的至少一个囊;
至少一个囊充气系统,其与所述至少一个下部组件的所述至少一个囊处于流体连通并构造成选择性地对所述至少一个囊充气,所述至少一个囊充气系统经由所述至少一个互连系统与所述至少一个功率供应连通;和
至少一个上部组件,其接近所述至少一个下部组件而定位,所述至少一个上部组件具有在其上的至少一个热控制电路和至少一个电连接系统,其中,所述至少一个下部组件和所述至少一个上部组件形成至少一个承载器装置接收器,所述至少一个承载器装置接收器构造成在其中至少接收承载器装置。
2.根据权利要求1所述的高功率激光二极管测试系统,其特征在于,所述装置测试模块可分离地联接至所述互连系统。
3.根据权利要求1所述的高功率激光二极管测试系统,其特征在于,进一步包括可活动地定位于所述至少一个夹持对准本体中形成的至少一个活塞通道内并由所述至少一个活塞通道固持的至少一个夹持活塞,所述至少一个夹持活塞与所述至少一个囊连通。
4.根据权利要求3所述的高功率激光二极管测试系统,其特征在于,进一步包括接近所述至少一个夹持活塞而定位的至少一个偏压部件,所述至少一个偏压部件构造成对所述至少一个夹持活塞施加至少一个偏压力,所述至少一个偏压部件构造成使夹持活塞朝所述夹持对准本体退回。
5.根据权利要求4所述的高功率激光二极管测试系统,其特征在于,所述至少一个夹持活塞构造成在所述囊被充气时从所述至少一个囊延伸。
6.根据权利要求1所述的高功率激光二极管测试系统,其特征在于,所述至少一个上部接收器包括联接至所述至少一个电连接系统的至少一个电连接本体,所述至少一个电连接本体的至少一部分在使用期间定位在所述至少一个承载器装置接收器内。
7.根据权利要求1所述的高功率激光二极管测试系统,其特征在于,所述至少一个上部接收器包括接近所述承载器装置接收器而定位的至少一个热调节本体,所述至少一个热调节本体经由所述至少一个互连系统与所述至少一个热控制系统连通。
8.根据权利要求7所述的高功率激光二极管测试系统,其特征在于,进一步包括在所述至少一个上部组件上接近所述至少一个热调节本体而定位的至少一个束流收集器,所述至少一个束流收集器构造成接收和消散由定位在所述承载器装置上的至少一个激光二极管发出的光辐射。
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