[发明专利]具有提高的滤波性能的用于电子设备的测试装置的探针卡

说明书

描述了一种用于电子设备的测试装置的探针卡。所述探针卡包括容纳多个接触探针的至少一个测试头，每个接触探针具有至少一个接触尖端，至少一个接触尖端适于贴靠在正在测试的设备的接触焊盘上；并且所述探针卡还包括至少一个空间转换器，所述空间转换器适于对形成在其相对侧上并且借助于适当的导电迹线或平面连接的接触焊盘之间的距离提供空间转换；以及多个滤波电容器，所述多个滤波电容器设置在所述空间转换器和PCB之间，并且所述滤波电容器包括本体和被布置在所述本体的侧部的导电部分，所述导电部分接触所述导电迹线或平面。适当地，所述PCB包括电接触所述滤波电容器的导电部分的直接导电迹线或平面。

技术领域

本发明涉及一种用于电子设备的测试装置的探针卡。

本发明尤其但非排他地涉及具有提高的频率性能的探针卡，并且后面的描述参考了这个领域的申请，其目的仅仅是为了简化对它的解释。

背景技术

众所周知，探针卡实质上是易于通过测试装置的相应通道将微结构的多个接触焊盘、尤其是集成在晶片上的电子设备放置到电触点中的设备，所述测试装置用于执行其工作测试，尤其是电测试，或者一般测试。

在集成的设备上执行的测试对检测和隔离在制造步骤中已经有缺陷的设备尤其有用。通常，所述探针卡因而用于在晶片被切割或分离和安装在芯片容纳包装内之前、对被集成在晶片上的设备进行电测试。

探针卡包括测试头或者探针头，而测试头或探针头实际上包括多个可动的接触元件或接触探针，其中所述接触元件或接触探针设有用于正在测试的设备 (也称作DUT)的相应多个接触焊盘的至少一个端部或接触尖端。

尤其已知测量测试的有效性和可靠性除其它因素外，还取决于设备和测试装置之间的良好电连接的实现并因而取决于最佳电接触探针/焊盘的构成。

在这里考虑的技术领域中使用的用于测试集成电路的测试头类型中，广泛使用具有竖直探针的测试头，这种测试头被称为“竖直探针头”。竖直探针头实际上包括由至少一对板或基本上板形并且相互平行的引导件所保持的多个接触探针。这些引导件设有合适的孔并且以一定的相互距离布置，以便为所述接触探针的移动和可能的变形留下自由区域或间隙。所述一对引导件尤其包括上部引导件或上裸片和下部引导件或下裸片，二者都设有所述接触探针在其内轴向滑动的引导孔，所述接触探针通常由具有良好的电性能和机械性能的特种合金的丝制成。

所述探针和正在测试的设备的焊盘之间的良好连接在这种情形下还通过所述测试头对于所述设备本身的压力来保证，在这种压接触过程中，在上部引导件和下部引导件中实现的引导孔内可移动的接触探针在两个引导件之间的间隙内弯曲以及也在这些引导孔中滑动。

另外，接触探针在间隙中的弯曲能够由探针本身的适当结构或它们的引导件进行辅助，特别是通过使用预变形的接触探针或适当地通过横向移动对它们进行支撑的引导件。

还已知使用这样的测试头，所述测试头的探针不固定地紧固但接合到板上，而板又连接到测试装置；这种测试头被称作具有非块状的探针的测试头。

在这种情形中，接触探针还具有朝向该板的多个接触焊盘的另一端部或接触头。通过将探针按压到板的接触焊盘上，以与正在测试的设备接触类似的方式，确保探针和板之间的良好电接触。

所谓具有悬臂探针的测试头也是已知的，这些测试头具有如钓鱼竿一样突出于正在测试的设备上方的探针。

在其最一般的形式中，探针卡(其在图1中整体地且示意性地用10表示) 包括测试头或探针头1，该测试头1在图示示例中具有的非块状的竖直探针。测试头1包括被容纳在头部的本体3中的多个接触探针2，特别地，所述头部包括至少一对板形支撑件或者引导件，其中所述板形支撑件或引导件设有适于以滑动的方式容纳接触探针2的相应的引导孔，其为公知类型，因此图中未示出。