[发明专利]具有提高的滤波性能的用于电子设备的测试装置的探针卡

权利要求书

1.一种用于电子设备的测试装置的探针卡(20)，所述探针卡(20)包括：

至少一个测试头(21)，所述至少一个测试头(21)容纳多个接触探针(22)，每个接触探针(22)具有至少一个接触尖端(22A)，所述至少一个接触尖端(22A)适于贴靠在正在测试的设备的接触焊盘上；

至少一个空间转换器(24)，所述至少一个空间转换器(24)适于对在其相对侧形成并且借助于导电迹线或平面(26)连接的接触焊盘(24A、24B)之间的距离提供空间转换；

PCB(25)；

多个电触点结构(27)，所述多个电触点结构(27)被布置在所述空间转换器(24)和所述PCB(25)之间；以及

多个滤波电容器(29)，所述滤波电容器(29)被布置在所述空间转换器(24)和所述PCB(25)之间，所述滤波电容器(29)包括本体(29c)和被布置在所述本体(29c)的侧部处的导电部分(29r)，所述导电部分(29r)接触所述导电迹线或平面(26)，

其特征在于，所述PCB(25)包括适于直接接触所述滤波电容器(29)的所述导电部分(29r)的直接导电迹线或平面(28’)，或者，其特征在于，所述探针卡(20)包括导电柔性界面(30)，所述导电柔性界面(30)被布置在所述滤波电容器(29)、所述电触点结构(27)与所述PCB(25)之间且适于通过所述空间转换器(24)和所述PCB(25)之间的压力来提供电互连，

所述导电迹线或平面(26)、所述直接导电迹线或平面(28’)、所述导电部分(29r)以及所述导电柔性界面(30)的组合允许所述测试头(21)和所述PCB(25)之间的信号传输和路由，使得所述滤波电容器(29)充当与所述PCB(25)电连接的元件。

2.根据权利要求1所述的探针卡(20)，其特征在于，

所述滤波电容器(29)在所述空间转换器(24)和所述PCB(25)之间的高度基本上彼此相等。

3.根据权利要求2所述的探针卡(20)，其特征在于，

所述滤波电容器(29)的高度与所述电触点结构(27)的高度相当。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的探针卡(20)，其特征在于，

所述导电部分(29r)是所述滤波电容器(29)的金属引线(29r)。

5.根据权利要求1或2所述的探针卡(20)，其特征在于，

所述滤波电容器(29)对应于承载供给信号的接触探针(22)而被设置。

6.根据权利要求1或2所述的探针卡(20)，其特征在于，

所述滤波电容器(29)被设置在面向所述测试头(21)的所述空间转换器(24)的区域(Aph)内。

7.根据权利要求6所述的探针卡(20)，其特征在于，

所述探针卡(20)包括另外的滤波电容器(29’)，所述另外的滤波电容器(29’)被设置在所述区域(Aph)的外部且在面向所述测试头(21)的侧(Fa)上。

8.根据权利要求1或2所述的探针卡(20)，其特征在于，

所述滤波电容器(29)是陶瓷基电容器或硅基电容器。

9.根据权利要求1或2所述的探针卡(20)，其特征在于，

所述滤波电容器(29)对应于所述空间转换器(24)的面向所述PCB(25)的接触焊盘(24B)被焊接到所述空间转换器(24)。

10.根据权利要求1或2所述的探针卡(20)，其特征在于，

所述导电柔性界面(30)是导电硅橡胶。

11.根据权利要求1所述的探针卡(20)，其特征在于，

所述导电柔性界面(30)被成形以对包括在所述空间转换器(24)和所述PCB(25)之间的、所述滤波电容器(29)和所述电触点结构(27)之间的高度差进行补偿。