[发明专利]一种大尺寸石墨烯玻璃的快速生长方法

权利要求书

1.一种大尺寸石墨烯玻璃的快速生长方法，所述方法包括在玻璃上进行LPCVD沉积生长大尺寸石墨烯，包括以下步骤：

1)将大尺寸石英玻璃清洗；

2)将清洗后的石英玻璃置于高温管式炉中，反应腔内温度为1000℃-1100℃，反应腔内真空度抽至10Pa以下，排空；

3)向反应腔内通入Ar和H₂，待气流平稳后向反应腔内通入乙醇蒸气开始石墨烯生长过程，生长时间为4-30分钟；

4)石墨烯生长结束后，关闭乙醇蒸气，调低Ar和H₂流量，温度降至室温后关闭Ar/H₂，即得到大尺寸石墨烯玻璃；

其中，所述大尺寸石英玻璃的对角线长度大于12英寸，所述步骤3)中乙醇蒸汽分压为250Pa。

2.根据权利要求1所述的大尺寸石墨烯玻璃的快速生长方法，其特征在于，所述步骤1)中，将石英玻璃依次置于丙酮、乙醇、去离子水中超声清洗10分钟，用氮气吹干，完成石英玻璃的清洗。

3.根据权利要求1所述的大尺寸石墨烯玻璃的快速生长方法，其特征在于，所述步骤3)中，乙醇蒸汽流量为500sccm。