[发明专利]一种大尺寸YAG或蓝宝石晶体的熔体法晶体生长方法在审
| 申请号： | 201610087431.5 | 申请日： | 2016-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN105624787A | 公开（公告）日： | 2016-06-01 |
| 发明（设计）人： | 张庆礼;林东晖;刘文鹏;孙贵花;罗建乔;彭方;殷绍唐;窦仁勤 | 申请（专利权）人： | 中科九曜科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/28 | 分类号： | C30B29/28;C30B29/20;C30B15/20;C30B17/00 |
| 代理公司： | 合肥市长远专利代理事务所(普通合伙) 34119 | 代理人： | 程笃庆;黄乐瑜 |
| 地址： | 231202 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 yag 蓝宝石 晶体 熔体法 晶体生长 方法 | ||
1.一种大尺寸YAG或蓝宝石晶体的熔体法晶体生长方法，其特征在于，采 用提拉法籽晶定向生长，包括：放肩，等径生长，降温。
2.根据权利要求1所述大尺寸YAG或蓝宝石晶体的熔体法晶体生长方法， 其特征在于，籽晶为截面为Ф5～20mm的圆柱体籽晶或截面为(5～20mm)×(5～ 20mm)长方体籽晶。
3.根据权利要求1或2所述大尺寸YAG或蓝宝石晶体的熔体法晶体生长方 法，其特征在于，放肩过程中，晶体直径d从Ф5～20mm逐步生长到坩埚直径D 的90％，晶体的直径随长度做线性变化，其中100mm≤D≤200mm。
4.根据权利要求1-3任一项所述大尺寸YAG或蓝宝石晶体的熔体法晶体生 长方法，其特征在于，放肩的具体步骤包括：
a、将晶体按0.1～2.5mm/h向上提拉至晶体直径d为坩埚直径D的70％， 在向上提拉过程中将晶体按0.5～30rpm的速度进行旋转；
b、将步骤a得到的晶体生长至晶体直径d为坩埚直径D的90％；其中生 长过程中，向上提拉速度由0.1～2.5mm/h逐步降至0mm/h，旋转速度由0.5～ 30rpm逐步降至0rpm。
5.根据权利要求1-4任一项所述大尺寸YAG或蓝宝石晶体的熔体法晶体生 长方法，其特征在于，等径生长过程中，根据晶体在单位时间内生长的质量变 化情况，通过PID算法对加热功率进行反馈控制，实现对晶体生长速度的主动 控制，使晶体重量大于原料重量的80％。
6.根据权利要求1-5任一项所述大尺寸YAG或蓝宝石晶体的熔体法晶体生 长方法，其特征在于，降温的具体步骤为：将等径生长得到的晶体在48～140h 内降至室温得到大尺寸YAG或蓝宝石晶体。
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